中古 FISCHIONE INSTRUMENTS 1020 #293750061 を販売中

FISCHIONE INSTRUMENTS 1020は、高度なエッチャー/アッシャー装置です。プラズマエッチングやその他のエッチングおよびアッシング処理を容易にするために開発された1020は、プロセスを高速で効率的かつ信頼性の高いものにする一連の機能を提供します。FISCHIONE INSTRUMENTS 1020は、エッチング/アッシングチャンバー、プラズマ源、RF発電機を1つの統合設計に統合した統合機器です。これにより、正確な制御と監視により、完全に自動化されたエッチング/アッシングプロセスが可能になります。このシステムは、迅速にプロセスの再現性を達成し、研究および生産アプリケーションに必要な十分な均一性を提供することができます。1020のエッチング/アッシングチャンバーは、正と負の両方のアッシング操作に対応するために、ダブルウィンドウで設計されています。1番目のウィンドウは正のエッチング/アッシング処理に、2番目のウィンドウは負のエッチング処理に使用できます。このプロセスは、ウィンドウビューポートを介して監視することができ、実験中に製品の目視検査を提供します。FISCHIONE INSTRUMENTS 1020は、精密なガス供給制御のためのセラミックスロットルバルブを備えており、調整可能な圧力範囲を提供します。このユニットは、1。0〜20sccmの調整可能なガス流量で動作し、連続流量調整用のデジタルガス流量計を備えています。1020は、RF、 DC、 Pulsed DC （HFXE）、 Pulsed Magnetron Sources （HFE）などの幅広いプラズマ源オプションを提供しています。RF発電機は出力電力の20kWを提供することができ、フルパワーとプロセス制御を可能にします。さらに、FISCHIONE INSTRUMENTS 1020には診断機能と機器保護機能が搭載されており、実験中も安全で動作するようにしています。1020は、さまざまなエッチングおよびアッシング処理に適しており、より大きな生産工具設計に統合することができます。信頼できる生産性、均一性、一貫性を提供し、幅広い業界や研究プロジェクトに適しています。この装置は、プラズマエッチングおよびアッシングプロセスに完全なソリューションを提供し、信頼性の高い正確な結果を保証します。