中古 FEI / MICRION Vectra 986FC #293718112 を販売中

ID: 293718112
ウェーハサイズ: 8"
Focused Ion Beam (FIB) system, 8" Upgraded to IET / WDR System Circuit editor: 28 nm Ion mill column Acceleration: 50 keV Ion column resolution: 5 nm Bipolar power supply Laser interferometer stage, 8" Proprietary charge neutralization system Virtual apertures: (14) Beam currents Pre-soak chamber Wafer holder, 8" Current monitor sample holder Tungsten metal deposition Hard Disk Drive (HDD), 500 G RAM Memory, 3400 Megabyte Gases : Chlorine / Bromine Xenon difluoride Siloxane (TMCTS) Oxygen Tungsten Display: Colour monitor, 21" Line resolution (1280 x 1024) Virtual apertures: (14) Beam currents Gas delivery system: Metal (Cl2) Dielectric (XeF2) (2) GAE Stations Penta / Tri nozzle configuration Dielectric deposition: Tetra Methyl Cyclote Trasil Oxane (TMCTS) Oxygen No IR cameras.
FEI/MICRION Vectra 986FCは、高度な半導体製造および材料研究用途向けに設計された高性能イオンビーム(FIB)フライス盤です。この最先端の装置は、イオンビームミリング機能と高精度のイメージングおよび解析機能を統合し、ナノスケール構造の精密な製造と特性評価を可能にします。FEI Vectra 986FCの中心には焦点イオンビームカラムがあり、ミリングおよびイメージング用に細かく焦点を当てたガリウムイオンを生成します。このシステムは、サブナノメートル分解能でイオンビームを生成することができ、回路編集、故障解析、サンプルの断面化など、非常に高い精度を必要とするタスクに最適です。MICRION Vectra 986FCは多軸のサンプル操作と位置決めを可能にする汎用性の高いステージユニットを備えており、ユーザーはサンプル表面の特定の領域を正確にターゲットにして処理することができます。このステージマシンはまた、現場でのフライス加工プロセスの監視と制御をサポートし、最適な結果を得るためのリアルタイムのフィードバックと調整を確実にします。Vectra 986FCは、イオンフライス加工機能に加えて、高度なイメージングおよび解析機能を備えており、多様な用途に対応しています。このツールは、高分解能スキャン電子顕微鏡(SEM)および二次イオン質量分析(SIMS)イメージングモードを備えており、サンプル表面の詳細な可視化とナノスケールのレベルでの組成解析を提供します。さらに、FEI/MICRION Vectra 986FCは、自動イメージングおよびデータ取得機能、ワークフローの合理化、ユーザーの生産性の向上を提供します。このアセットの直感的なユーザーインターフェイスとソフトウェアコントロールにより、複雑なミリングおよびイメージングタスクを簡単にプログラミングでき、経験豊富な研究者と新規参入者の両方が現場にアクセスできます。FEI Vectra 986FCの主な強みの1つは、幅広いサンプルタイプとサイズの取り扱いにおける汎用性です。半導体ウェーハ、生物学的サンプル、材料科学標本を使用する場合でも、このモデルはさまざまなサンプル形状や表面条件に対応し、さまざまなアプリケーションで一貫した信頼性の高い結果を保証するために装備されています。さらに、MICRION Vectra 986FCはハイスループット処理用に設計されており、サンプルの準備と分析のための迅速なターンアラウンドタイムを可能にします。その先進的なチャンバー設計は、汚染とサンプルドリフトを最小限に抑え、長時間の運転でも一貫した再現性のある結果を保証します。全体として、Vectra 986FCは最先端の技術とユーザーフレンドリーな設計を組み合わせ、ナノスケール構造の製造と特性評価において比類のない性能と信頼性を提供する最先端のイオンミリング装置を表しています。高度な機能と汎用性を備えたFEI/MICRION Vectra 986FCは、ナノテクノロジーと材料科学の境界を押し広げようとする研究者やメーカーにとって貴重なツールです。
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