中古 FEI / MICRION 9500 EX #9150796 を販売中

ID: 9150796
Focused Ion Beam (FIB) system I-Gun type: 5nm Column Beam current: 3pA~931pA (50kV) Depo system: Tungsten Tmcts O2 H2O Cl2 / Br2 XeF2 Vacuum types: Turbomolecular pump (2) Mechanical pumps (2) Ion getter pumps Stage type: 200 x 200 mm Loadlock type: Loadlock system PS / OS: IBM RISC System / 6000 43P Model 140 computer / AIX 4.1.5 Detector: MCP.
FEI/MICRION 9500 EXイオンフライス盤は、ナノスケール構造および部品の製造用に設計された高度なイオンフライス盤です。低エネルギー・高イオン加速のハイビーム電流を利用して、複雑な表面構造を生成することができます。ガリウムイオンビームを使用して、金属、セラミックス、半導体などの幅広い材料の表面を微細に粉砕します。このデバイスはまた、厳しい公差で3Dナノ構造を生成する機能を提供します。FEI 9500 EXイオンミリングシステムは、フォーカススキャンイオンビームを使用して、小さな特徴と高精度の表面を生成することができます。このユニットは、ユーザーが必要に応じて簡単にパラメータを調整することができる高いユーザーフレンドリーなインターフェイスで自動化されています。また、フライス加工の進行状況を監視するためのXPS分析機を備えており、ユーザーはサーフェスを検証し、望ましい結果を得るためのフライス加工ステップを迅速に調整することができます。イオンミリングプロセスでは、ガリウム(Ga+)、ネオン(Ne+)、キセノン(Xe+)、ヘリウム(He+)、アルミニウム(Al+)、ホウ素(B+)、チタン(Ti+)など、幅広いイオンを提供しています。イオンミリングプロセスは精密であり、サンプル表面上のイオンビームを正確に横方向に制御することができます。さらに、このツールは、加速電圧、ビーム電流、解像度、ビームスポットプロファイル、スキャン範囲上のビーム、スキャン速度、ドウェル時間、およびサンプル温度などの幅広い動作パラメータを提供します。9500 EXには、強力なコンピュータ資産と、ユーザーがカスタマイズされたプロセスをプログラミングできるさまざまなソフトウェアツールが装備されています。このモデルには、ジョブごとに使用されるすべてのパラメータと設定を格納する永久メモリが内蔵されており、ミリングプロセスを再作成できます。さらに、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーはフライス加工の進捗状況を追跡し、フライス加工の結果を監視および分析するための分析およびレポート作成ツールを提供します。全体的に、FEI/MICRION 9500 EXは、優れた自動化レベルとユーザーフレンドリーなインターフェースを備えた強力で精密なイオンミリング装置を提供します。これは、正確で再現性のあるフライス加工を提供するため、ナノ構造とコンポーネントのフライス加工に最適です。優れたフライスパラメータ、幅広いイオンタイプ、自動化されたインターフェースにより、このシステムは高度なイオンフライス加工機能をお探しのお客様に最適です。
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