中古 FEI / MICRION 9100 #293645928 を販売中

FEI/MICRION 9100は、材料科学研究におけるサンプルの精密加工用に設計された先進的なイオンフライス加工装置です。ポリマーからポリシリコンまで、さまざまな材料の高分解能フライス加工を提供し、アルミナ、サファイア、石英などの誘電体を処理することもできます。イオンミリングシステムには、3つの異なるガス源（アルゴン、キセノン、クリプトン）があり、可変侵食率とより深いフライス加工能力を備えています。FEI 9100は、イオン源、イオン銃、ビームフォーカス、および制御エレクトロニクスを収容するメインベースユニットで構成されています。イオン銃にRFエネルギーを供給する4kWの無線周波数電源で動作し、イオンを高エネルギーレベルに加速することができます。イオンビームは、斜めの角度で試料表面に向けられます。この斜め角度法は、表面の損傷を最小限に抑えるのに役立ちます。MICRION 9100は、電圧、電流、ガス圧力、ビーム圧力など、さまざまなフライス加工パラメータを設定できます。このユニットには、アクティブな照準と磁石システム、高度な画像認識機能、およびSEM、 FIB、およびSTMを含む複数のイメージングモードが装備されています。これにより、機械は所望の領域を正確にターゲットとミルすることができます。9100は基板の精密ナノパッタリングにも使用できます。高解像度ナノパタンジェネレータを搭載しており、50 nmまでの寸法で線やその他の形状の製造が可能です。このツールは、CADアセットに直接接続して、精密なCAD制御パターンを作成することもできます。FEI/MICRION 9100は材料科学の研究のための理想的な選択です。精密なフライス加工とナノパッタニング機能を提供し、複雑で困難な作業を実行することができます。その高度な制御モデルは、フライスパラメータを正確に制御することができ、プロセスによって引き起こされる損傷を排除するのに役立ちます。高精度・高精度な機能を実現する汎用性の高い機器です。