中古 FEI / MICRION 2500 #9294116 を販売中

FEI/MICRION 2500は、アルゴンやその他の不活性イオンのビームでスパッタ材を離れてサンプル表面に特徴を作り出すイオンミリング装置です。このシステムにはツインコラム設計が組み込まれており、利用可能なチャンバー構成と、サンプル加熱、ガス入口/出口、追加のサンプルステージなどの追加オプション、および最大の用途向けのその他のコントロールの多様性を可能にします。このツールには、大きなサンプルのための大きな均一な領域、または高いアスペクト比と線形プロファイルを持つ小さな領域を含むカスタマイズ可能なジオメトリを備えたエッチチャンバーもあります。FEI 2500には、強力なデュアルポート無線周波数（RF）イオン源と、アクティブシールド技術を備えた高出力ダイレクトまたはDCオフセットRFイオン源が内蔵されています。このユニットは二次電子放出を排除し、ビーム電流をより正確に制御します。また、可変電流制御、ビームステアリング、フォーカス調整、ビーム半径制御のオプションも用意されています。MICRION 2500の高真空デュアルチャンバー設計は、信頼性の高い長期運用とハイエンドの資産安定性のための監視機能を備えたロードロックツールを使用しています。このツールには、充電の蓄積を低減し、サンプルの汚染を低減するためのさまざまなマグネットベースの封じ込めシステムもあります。2500は、アクティブビームステアリング、アライメント、フォーカスなどの精密制御オプションを備えており、最適な性能とスパッタレート能力を向上させます。FEI/MICRION 2500には、マイクロウェーブソースを操作するための包括的なプロセスオートメーションモデルと、プログラマブルエッチレシピの作成が含まれています。これは、グラフィカルユーザーインターフェイスと統合されたネットワークと組み合わされ、ユーザーの任意のレベルのユーザーフレンドリーな操作を可能にします。FEI 2500は5nmという小型の特長を持ち、薄膜成膜、低誘電体の「乾燥」、半導体材料のアスペクト比の高い機能など幅広い用途に対応できる強力なツールです。これらの利点はすべて、MICRION 2500を作業の精度を必要とするあらゆるラボの不可欠な部分にするために組み合わされます。