中古 FEI / MICRION 2500 #293635763 を販売中

FEI/MICRON FEI/MICRION 2500は、大型サンプルおよび基板のエッチングおよび加工用に設計された先進的なイオンフライス加工装置です。特に、大型半導体サンプルやウェーハにおける超高アスペクト比のエッチングや作成に役立ちます。MICRION/MICRON FEI 2500は、直感的で簡単なユーザーインターフェイスで使いやすさを向上させるための統合設計を備えています。統合されたロードロックシステムは、サンプルに精密な環境を提供し、手動でのロードとアンロードの必要性を排除します。このユニットには高性能真空機も装備されており、良好なサンプル安定性と粒子制御を提供します。FEI/MICRION/MICRON MICRION 2500は、イオンミリングとエッチングにフォーカスイオンビーム（FIB）を使用してサブミクロンのフィーチャーサイズとアスペクト比を作成します。このツールには、信頼性の高いビーム制御と再現性のためのイオンソースが装備されています。資産は、必要に応じて微調整することができ、エネルギーと現在の密度の範囲を提供することができます。イオンプローブは、z軸で最大300 um移動することができ、単一のエッチング工程でより厚いサンプルをフライス加工することができます。FEI/MICRON 2500には、最高品質のエッチング結果を得るためのカスタマイズ可能な自動サンプルステージとソフトウェアスイートがあります。ビーム電流、パルス幅、傾きなど、プロセスのさまざまなファセットをプログラムできます。温度補償機能により、エッチング工程で安定した温度を維持することで再現性を確保します。このモデルは信頼性が高く、安全で閉じたチャンバー環境で24時間稼働できます。内蔵の安全機能により、潜在的なユーザーエラーを最小限に抑え、機器は完全に保守可能で拡張可能であり、長期的な信頼性を確保します。MICRION/MICRON FEI/MICRION 2500は、半導体、MEMS、ナノテクノロジー業界のハイスループットエッチング、加工、およびバックエッチングに最適です。その強力な機能は、複雑なコンポーネントやデバイスの研究、プロトタイピング、製造にも最適です。