中古 FEI Helios #9251390 を販売中

FEIヘリオス（FEI Helios）はナノリソグラフィーに使用されるイオン製粉装置であり、ナノスケール製造の一種である。このツールは、グラフェンやカーボンナノチューブなどの半導体や薄膜の製造に使用されます。イオンミリングシステムは、イオン源、マグネトロン源、イオンビーム光学、基板ヒーターなど、多くの主要部品で構成されています。ヘリオスイオンミリングユニットのイオン源は、高エネルギーレベルのイオンビームを生成します。ビーム内のイオンは、サイズとタイプを調整して所望の特性を与えることができます。マグネトロン源は電磁界を生成し、ビームを指向線に形成するために使用されるため、ビームを単一点または領域に集中させることができます。イオンビーム光学は、イオンビームの方向とエネルギーと角度を変化させるために使用され、イオンビームを正確に操作できます。最後に、基板ヒーターを使用して、プロセスが実行される材料を加熱します。FEIヘリオスマシンは、高いエネルギーレベルでイオンで材料を爆撃することによって動作します。このプロセスはイオンビームミリングと呼ばれ、材料層を層別に除去するために使用されます。このツールは、エッチング、堆積、パターニングなど、さまざまなプロセスに使用できます。ナノメートルレベルの解像度に達することができ、非常に均一な表面構造を生成することができます。ヘリオスアセットは、ナノスケール製造業界のニーズに応える貴重なツールです。高度な制御と精度を提供し、イオンビームの正確な操作を可能にします。エッチングからパターニングまで、さまざまな用途に使用できます。モデルの耐久性は、それが長年にわたってそのユーザーに役立つことを保証します。FEI Heliosは、ナノテクノロジーの探求と開発を追求する人々にとって貴重な資産です。