中古 FEI Helios NanoLab 660 #9191763 を販売中
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販売された
ID: 9191763
ヴィンテージ: 2014
Dual beam system
With BRUKER EDS and vibration isolation table
P/N: 1037473
TMC Vibration platform
SPICER SC24 Magnetic field cancellation system
Includes:
Workstation with Windows XP
PC
Operating system: Windows 7
(2) Widescreen LCD monitors, 24’’
ELSTAR Electron column with UC technology
TOMAHAWK Ion column with fast ion beam blanker
Eucentric stage: 150 x 150 mm
Beam deceleration mode
In-lens detector TLD with SE and BSED modes
Secondary Electron Detector (SED)
In-column detectors: iCD and Mirror detector
Beam current measurement
CCD IR Camera
Integrated plasma cleaner
Oil-free pumping system
Large table top with support
Description / Part number
iFast developers kit / 1011585
Seismic restraint kit / FP 6940/15
THERMOFLEX Chiller 60 Hz / 9432 909 96461
6-Channel detector amplifier / FP 6843/51
Charge neutralizer / FP 3440/32
Ice detector / FP 2303/09
Retractable dbs detector / FP 6903/20
Retractable stem 3+ detector / 1037464
System covers for helios nanolab / FP 3440/48
FEI Easylift ex nanomanipulator / 1033506
Delineation etch / FP 3400/21
Multichem gas delivery system / 1011754
Nano inst. kit nova nanolab / STRATA / HELIOS / V600 / 9425 061 69625
Cryocleaner ec / FP 2301/27
Cryocleaner ec spare vessel / FP 2301/28
Nav-cam+ / 1018721
Multichem installation tool / 1056070
Carbon deposition precursor for multichem / 1011761
Insulator enhanced etch precursor for multichem / 1011767
Platinum deposition precursor for multichem / 1011759
Selective carbon mill precursor for multichem / 1011763
(8) Wafer holders / 1004714
Joystick / FP 2311/01
Manual user interface / FP 2311/05
Mains matching and isolation transformer sem / FP 6343/02
Quick loader / FP 3610/13
Umb fib/tem specimen kit / FP 3660/05
Umb specimen holder kit / FP 3660/00
Vise specimen holder / FP 3660/10
2014 vintage.
FEI Helios NanoLab 660は、断面イメージングおよびナノスケール解析用に設計された業界トップクラスのイオンフライス装置で、サンプルをナノメートルスケールまで精密に薄くすることができます。独自のデュアルビームシステムは、スキャン電子顕微鏡(SEM/TEM)と透過電子顕微鏡(SEM/TEM)を組み合わせ、最大0。5ナノメートルのスケール解像度でサンプル表面を効果的にエッチングおよび画像化します。このユニットは、焦点を当てたイオンビーム(FIB)を使用して、高荷重イオンのストリームを持つ薄いサンプルにします。生成されたイオンは、サンプルから除去する材料に向けられ、ビームの軌道とエネルギーを制御して所望のエッチング深度を達成します。これにより、材料を数ナノメートルまで正確に除去することができます。Helios NanoLab 660には、最先端のリモートイメージングマシンが搭載されており、ミリング中にサンプルをほぼリアルタイムで観察できます。FEI Helios NanoLab 660は、ビジュアルツールを内蔵しており、エッチング中にサンプルの様々な角度や拡大を撮影することができます。また、プロセス中に撮影した画像を保存し、将来の参照用に保存することもできます。アセットの自動ミリングソフトウェアも同様に、さまざまなサンプル材料のパラメータ設定と監視設定を可能にします。これには、希望するエッチング速度、深さ、ガスの種類、および温度を設定することが含まれます。また、デュアルソースのセットアップにより、低エネルギーイオンビームと高エネルギービームを切り替えることができ、エッチングプロセスのより効率的で均一で正確な制御が可能です。Helios NanoLab 660モデルは、商用および学術研究所の両方で使用するために設計されており、さまざまな用途とサンプルを使用してイメージングと分析を可能にします。これには、故障解析、欠陥調査、腐食マッピング、3Dイメージングなどの特性評価が含まれます。FEI Helios NanoLab 660は、ユーザーフレンドリーで高性能な機能を手頃な価格で設計されています。これは、ナノスケールのイメージングと分析を行うための信頼性の高い方法を探している任意のサイズの研究室に魅力的になります。最先端のデュアルビーム機器と高度なイメージング機能を備えたHelios NanoLab 660は、高解像度のイメージングおよびサンプル準備作業に最適です。
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