中古 FEI Helios NanoLab 400 #9262998 を販売中
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販売された
ID: 9262998
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
Focused Ion Beam (FIB) system, 12"
Elstar FEG Electron column: 350 V - 30 kV
In-lens SE
BSE Detector
Elstar electron column (Sub-nanometer)
Sidewinder ion column: 30 kV
Milling power: 21 nA Beam current
CDEM With 5 nm image resolution
Windows OS and FEI UI
TSS Networking computer
Five-axis motorized compucentric stage with load lock
Specimen coverage (Diameter): 100 mm
Load lock
Chamber scope for real time observation
Vacuum system:
Oil free consisting (3) IGP
Air cooled turbo
Dry PVP
GIS installed: W and IEE
Does not include support PC
2009 vintage.
FEI Helios NanoLab 400は、物理およびライフサイエンス用途向けに設計された高精度イオンフライス加工装置です。これは、ナノ構造、超高密度、および表面分析のための高度なツールです。このシステムは、原子、層ごとに物質原子を除去することができ、サンプル転送ユニットを備えており、高精度の微細加工と多種多様な材料の修復を可能にします。Helios NanoLab 400には、ガリウムイオンのビームを使用して表面から材料を集中的に粉砕する特殊なナノミリングガンが装備されています。自動化された「スマートサイジング」機能により、イオンビームのビーム径が小さくなり、超微細な構造に取り組むことができます。また、ミリング速度を制御し、銃の目詰まりを防ぐことができるビームブロワーを備えています。ビーム送風機を使用して、さまざまな基板上にナノ構造を作成することもできます。このツールはまた、サンプルの正確な位置決めとフライス加工を可能にする高解像度の5軸マニピュレータを備えています。自動化されたサンプル認識アセットにより、ビームが適切に配置され、最適なミリング精度が得られます。さらに、FEI Helios NanoLab 400はフィールド強化イオン源を備えており、広い領域での均一なフライス加工を保証します。このモデルは独自のイメージング機能を備えており、フライス加工の高コントラスト画像を作成できます。装置の物理的な機能に加えて、Helios NanoLab 400には、ユーザーが簡単にカスタマイズされたフライス盤プログラムを作成することができる高度な制御システムが装備されています。オンボードデータベースはミリングパラメータを格納し、再現性と正確な結果を得ることができます。このユニットは、簡単な操作とメンテナンスのために設計されており、部品を迅速かつ効率的に清掃および変更できる自動システムを備えています。直感的なグラフィカルユーザインタフェースと詳細なユーザーマニュアルにより、ユーザーは簡単にマシンをセットアップして操作でき、生産性を最大限に高めます。全体的に、FEI Helios NanoLab 400は、精密ナノ構造と表面解析のための包括的な機能満載のツールを提供します。自動化されたマイクロマシニング機能により、ユーザーは繰り返し可能で正確な結果を得ることができます。直感的なユーザーインターフェイスと自動化されたシステムにより、運用とメンテナンスが簡素化され、ユーザーは生産性を最大限に高めることができます。
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