中古 FEI Helios 1200AT AFL #293804496 を販売中

ID: 293804496
ヴィンテージ: 2013
System 2013 vintage.
FEI Helios 1200AT AFLは、材料科学、半導体製造、ナノテクノロジーなど、さまざまな用途において、精密かつ効率的なサンプル調製のために設計された先進的なイオンフライス加工装置です。最先端の技術を融合させた高性能イオンフライス加工により、優れたイメージングと解析結果を実現します。Helios 1200AT AFLシステムの中心には、その焦点イオンビーム(FIB)カラムがあり、サンプル表面から材料を正確に粉砕するためにガリウムイオンの微細なビームを生成します。FIBコラムには、サブナノメートル分解能で正確かつ制御されたフライス加工プロセスを保証するための高度な光学およびビーム制御メカニズムが装備されています。これにより、材料を高精度に除去することができ、伝送電子顕微鏡(TEM)解析や回路編集用途の超薄型試料の作成に最適です。FEI Helios 1200AT AFLマシンの主な特徴の1つは、自動ターゲット認識(ATR)およびオートフォーカスリソグラフィ(AFL)機能を実行する機能です。ATR機能により、サンプル表面上の特定の特徴を自動的に特定して識別することができ、ミリングまたはイメージングタスクの正確なターゲティングが可能になります。これにより、ワークフローの効率が大幅に向上し、サンプル作成に要する時間が短縮されます。AFL機能は、フライス加工およびパターニングプロセス中に自動焦点調整を提供することにより、資産のリソグラフィ機能をさらに強化します。これにより、高精度で再現性のあるサンプル表面に微細な構造とパターンを作成するための最適なビームアライメントとフォーカスが保証されます。AFL機能により、ユーザーはカスタムデバイス製造のためのナノスケールパターニングやマスクレス処理などの高度なリソグラフィ技術を実行することができます。Helios 1200AT AFLモデルは、高度なフライス加工およびリソグラフィ機能に加えて、包括的なサンプル特性評価をサポートするさまざまなイメージングおよび解析機能を提供します。地形画像や元素解析用の高分解能走査型電子顕微鏡(SEM)を搭載し、ナノスケール分解能で試料表面を検査することができます。SEM機能はFIBフライス加工機能を補完し、サンプル組成をより深く理解するために構造情報と化学情報の相関を可能にします。さらに、FEI Helios 1200AT AFLシステムには、元素マッピングと組成解析のためのエネルギー分散X線分光計(EDS)が搭載されています。これにより、サンプルの詳細な化学特性評価を行い、高感度かつ空間分解能で元素組成を特定して定量化することができます。FIBフライス加工、SEMイメージング、EDS解析機能を組み合わせることで、幅広い研究開発アプリケーションに対応する汎用性の高いツールとなります。結論として、Helios 1200AT AFLイオンフライス盤は、サンプル調製、イメージング、分析のための高度な機能を提供する洗練された汎用性の高い機器です。精密なフライス加工、自動化されたターゲット認識、リソグラフィ機能、包括的な分析機能は、材料科学、半導体技術、ナノテクノロジーなどの多様な分野で活躍する研究者やエンジニアにとって不可欠なツールです。このツールの高性能、オートメーション機能、および柔軟性により、複雑なサンプル準備ワークフローで効率的で信頼性の高い結果を達成するための理想的なソリューションとなります。
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