中古 FEI Helios 1200AT AFL #293600559 を販売中

ID: 293600559
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2013
Focused Ion Beam (FIB) system, 12" 2013 vintage.
FEI Helios 1200AT AFLは、さまざまな表面から超薄膜を除去するための高度なイオンミリングシステムです。FEI Heliosシリーズの一部であるこのツールは、精度と速度のユニークな組み合わせを提供します。ヘリオス1200AT AFLは、低イオンエネルギーで非常に高いフィルム除去率を達成する能力を含む、多くの重要な利点を備えています。また、0。1nmから2,000nmの厚さまでのフィルムの高精度なフライス加工を提供し、アングストロムレベルまでのプロセスの制御性を向上させます。さらに、このツールは生産性の向上と大きなプロセスウィンドウの最適化を提供します。FEI Helios 1200AT AFLは、単一の高分解能電子カラムに基づいています。このコラムは、強力な低エネルギーイオンの検出と集中を可能にし、超薄膜および高分解能フライス加工アプリケーションに最適です。このツールで使用されるイオン源は、最適な制御フライス加工のための絞りサイズと精度を調整する機能を提供する調整可能な開口タイプです。これにより、アングストロムレベルまでのフィルムの特性評価と操作が可能になります。材料選択性を高めるために、Helios 1200AT AFLには10 keVから500 keVまでの可変ビームエネルギーが含まれており、最高品質のフライス加工を達成するための強力なツールです。FEI Helios 1200AT AFLは、さまざまな基板の材料特性を維持するために最適化されています。このシステムには自動化されたアライメントシステムが装備されており、一度校正されると、頻繁な手動光学調整の必要性を否定します。最後に、Helios 1200AT AFLは使いやすいユーザーインターフェイスとモバイルソフトウェアを備えています。これは、プロセスを最適化および制御するための強力な制御メカニズムと、データ収集、分析、および管理のための安全なプロトコルを提供します。
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