中古 FEI DualBeam 620 #293795397 を販売中

FEI DualBeam 620は、半導体製造、材料科学、およびマイクロエレクトロニクスの分野における高解像度イメージングおよび分析機能用に設計された洗練されたイオンミリング装置です。これは、走査型電子顕微鏡（SEM）と焦点イオンビーム（FIB）システムの機能を組み合わせて、優れた画像解像度と精密材料除去機能を提供します。DualBeam 620ユニットの中核には、高性能な電界放出電子源があり、試料表面のイメージングと分析のための集中電子ビームを生成します。この電子ビームは、研究者がナノスケールのレベルで材料の微細構造を可視化し、分析することを可能にする高分解能イメージング機能を提供します。また、高感度検出ツールを搭載し、優れた透明度とコントラストで画像を捉えることができ、材料特性の詳細な特性評価が可能です。SEM機能に加えて、FEI DualBeam 620アセットには、イオンミリングと呼ばれるプロセスを通じてサンプル表面から材料を除去するために正確に指示することができる高エネルギー焦点イオンビームが装備されています。イオンビームは通常ガリウムイオンで構成され、ナノメートルスケールの精度で材料を除去するために細かく焦点を合わせることができます。サンプルから材料を選択的に除去することで、分析のためのサンプルの準備、断面イメージング、高精度なナノ構造の製造が可能になります。DualBeam 620モデルの主な特徴の1つは、ワークフローを合理化し、効率的なサンプル準備と分析を可能にする堅牢な自動化機能です。この装置には、複雑なミリングパターンの定義、サンプルナビゲーションの自動化、イメージングおよびミリングパラメータの最適化を可能にする高度なソフトウェアが装備されています。この自動化機能により、サンプル処理時間が短縮され、システム全体の生産性が向上します。FEI DualBeam 620ユニットには、幅広いアプリケーション向けのユーティリティを強化する高度な分析機能も搭載しています。この装置には、高感度かつ空間分解能でサンプルの元素組成を分析できるエネルギー分散X線分光法（EDS）検出器が装備されています。これにより、研究者は元素マッピングを実行し、化学フェーズを特定し、原子レベルで材料を特徴付けることができます。さらに、DualBeam 620ツールは、さまざまなサンプルホルダーやアクセサリと互換性があり、ユーザーはさまざまなサイズ、形状、組成のサンプルを分析することができます。このアセットは、導電性サンプルと非導電性サンプルの両方に対応でき、サンプル操作、コーティング、および準備のためのさまざまなオプションを提供します。この汎用性により、材料科学、ナノテクノロジー、半導体製造の幅広い研究用途に適しています。要約すると、FEI DualBeam 620は、さまざまな分野の研究開発のための高度なイメージング、分析、および材料除去機能を提供する最先端のイオンフライス加工装置です。SEMとFIBの機能、オートメーション機能、分析ツールを組み合わせることで、材料の特性評価、ナノ構造の作製、ナノ科学や半導体産業の高度な研究を行うための強力なツールとなります。