中古 BALZERS / BPS Cyberite #9363567 を販売中

BALZERS/BPS Cyberiteは、微細構造を表面に加工するために使用されるイオンミリング装置です。金属、セラミックス、高分子材料のエッチングを可能にするナノ加工の強力なツールです。システムは真空チャンバーに基づいており、両端に2つの大型電子銃が配置され、中央にプラズマ源が配置されています。陰極銃はサンプルの表面をスキャンするイオンビームを生成し、サンプル材料からイオンの形でエネルギーを放出します。プラズマ源はさらにイオンビームを加速して誘導し、表面の制御変更を可能にします。イオンビームはまた、試料表面の物理的エッチングを生成します。これは、チャンバーにガスを追加することによって補助され、ユニットのコンピュータインタフェースを介して制御されます。サンプルは、イオンビームに対するサンプルの位置を正確に調整できる取り付けアームに取り付けられています。この機械は、50nm/min〜5m/minのフライス加工速度でイオンフライス加工が可能で、最小幅0。5 nmの機能を作成するために使用μことができます。BPS Cyberiteは、イオンビームによって変更されている表面のリアルタイムイメージングのための精密ビジョンツールと統合されています。このイメージングアセットは、低電圧動作のために設計されており、0。1nmまでのフィーチャーサイズを検出できます。この機能は、イオンミリングプロセスの有効性を評価するために使用される可能性のある機能の定量イメージングに特に役立ちます。また、サンプルの積み降ろしのための自動サンプル搬送装置を搭載しています。この輸送システムは、実験室からイオンビームチャンバーにサンプルを転送するだけでなく、ミルドサンプルの除去を可能にするコンベヤーベルトの数で構成されています。このトランスポートユニットは、フライス加工の段階と走査型電子顕微鏡などの外部分析装置との間でサンプルをシャトルするためにも使用されます。安全でクリーンな作業環境を確保するために、BALZERS Cyberiteにはガス削減ツールが統合されています。この資産には、イオンビームチャンバーとその周辺が有毒ガスの痕跡から解放されていることを保証するために、空気浄化およびイオン化システムが組み込まれています。これにより、イオン加工プロセスを安全で制御された環境で行うことができます。全体として、Cyberiteは幅広い機能を備えた高度なイオンミリングモデルです。これは、複雑なナノ構造を作成するために有用であり、それは0。5 nmの最小フィーチャーサイズのサーフェスを製造するために使用することができます。自動輸送装置とビジョンシステムにより、研究およびエンジニアリングの用途に最適です。