中古 4WAVE IBD 1200-RF #293681881 を販売中

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イオンミリング
製造業者
4WAVE
モデル
IBD 1200-RF
ID: 293681881
ウェーハサイズ: 8"
Ion Beam Deposition (IBD) system, 8" Cassette to cassette (2) Vacuum cassette elevators Robot transfer module Substrate aligner Single IBD Process module RF Ion source, 12 cm Plasma bridge neutralizer Substrate stage with stage: 200 mm Spin rotation 2-Target assemblies Water cooled with angle adjustability, 16" CTI 400 Cryopump, 16" Control system automation Integrated MKS RGA for close loop pressure control Integrated Quartz crystal rate monitor Enhanced crystal life option.
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