中古 VARIAN VIISta #9265745 を販売中
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ID: 9265745
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
High current implanter, 12"
Scroll pump missing
2007 vintage.
VARIAN VIIStaは、VARIAN Semiconductor Equipment Associatesによって開発および配布された最先端のイオンインプラントおよびモニターです。イオン濃度が高い半導体材料の中に領域を作り出すように設計されています。材料に埋め込まれたイオンの数と種類を正確かつ正確に調節することができる完全自動化された装置です。VIIStaは、半導体業界で特に有用となるさまざまなハイエンド機能を実装しています。高度なプロセス制御機能を備えており、イオン注入レベルを一定に監視および調整することができます。このシステムは、着床条件をリアルタイムで調整することもでき、着床パラメータを迅速に変更する作業に最適です。VARIAN VIIStaは、高精度のビーム光学を使用して均一なイオンインプラントを作成し、プロセス全体で一貫したレベルのパフォーマンスを保証します。このユニットはまた、4極スキャナ電子ビームを備えており、インプラントの範囲に沿ってビームを効率的かつ信頼性の高い移動方法を提供します。VIIStaはまた、粒子分析やレーザー散乱/計測などの高度な診断ツールも提供しており、オペレータは移植された材料の進捗状況を確認することができます。さらに、VARIAN VIIStaには、操作のすべての側面を制御するために使用される強力なソフトウェアスイートも含まれています。この一連のソフトウェアツールには、インプラント率のシミュレーションと分析、用量率要件の計算、インプラントの均一性の監視など、インプラントのプロセスを最適化する多くの機能が含まれています。このスイートには、インプラント処理のすべての側面を追跡できる広範なデータロギング機能も含まれています。全体として、VIIStaは強力で効率的なイオンインプランターおよびモニタリングマシンです。その堅牢な機能と高度なソフトウェアスイートは、複雑な埋め込み操作を行うのに理想的な選択肢です。その貴重なプロセスモニタリングと制御機能により、注入パラメータを迅速かつ正確にチューニングし、各ランで一貫した信頼性の高いパフォーマンスを保証します。
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