中古 VARIAN VIISta #9191531 を販売中
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VARIAN VIIStaは、VARIAN Semiconductor製の高性能イオンインプラントおよびモニターです。このユーザーフレンドリーな機器は、最大のスループットと均一なインプラントを提供するように設計されています。これは、高度なビームイメージング技術と高出力イオン加速を利用して、幅広い電子およびオプトエレクトロニクス用途に精密で反復可能なインプラントを提供します。このシステムは、マルチビームビデオイメージモニタ(BIM)を備えており、ユーザーはビームの均一性、線量率、角度、カウンタなどのさまざまな変数を表示できます。このモニターはビームラインに直接表示され、ユーザーは必要に応じて素早く調整して精度と再現性を確保できます。また、強力なビームマッチング機能を使用して、着床プロセスの均一性と精度をさらに最適化することもできます。VIIStaは、複数のウェーハおよび基板サイズをサポートし、2つのガス圧力とさまざまな材料の調整可能な圧力が付属しています。インプランターは、独自の冷却ユニットを使用して、インプラントのプロセス中にビームが安定していることを確認します。真空機能も利用可能で、ユーザーは「隠れた」インプラントにアクセスし、材料使用率を高め、埋め込み精度を最適化することができます。VARIAN VIIStaは無制限の拡張性のために設計されており、ユーザーは幅広い範囲でビームエネルギーと用量を拡張することができます。また、イオン注入、イオン爆撃、イオンスパッタリング、ソース浸漬など、いくつかの異なる注入方法をサポートしています。最後に、VIIStaには、内蔵の冗長マシン、自動シャットオフ、放射線シールドなど、幅広い安全機能が搭載されています。これらの機能は、インプランターの信頼性と安全な動作を保証します。結論として、VARIAN VIIStaは、最適なスループットと均一性を備えた正確で反復可能なインプラントを提供するように設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。マルチビームビデオイメージモニター(BIM)と様々な材料の調整可能なガス圧力を備えたこのツールは、オプトエレクトロニクスと電子生産に最適です。さらに、さまざまな安全機能が信頼性と使いやすさを高め、最新の生産環境に最適です。
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