中古 VARIAN VIISta #293596002 を販売中

VARIAN VIIStaイオンインプランターとモニターは、半導体業界で電荷と電流を操作するために使用される洗練された精密ツールです。主にイオン注入とモニタリングに使用されますが、他にも多くの機能があります。イオン注入は、イオンが加速され、固体材料を通過して電気的特性を変化させるプロセスです。これは、材料の構造、その物理的特性、さらにはその化学組成を制御するために行われます。VIIStaは、正確かつ一貫した結果を保証するために、このイオン加速度の濃度、種類、速度を正確に制御するために使用されます。VARIAN VIIStaには、イオン源として機能する強力で高エネルギーの電子銃が含まれています。この銃は100 keVまでのエネルギーに到達することができ、様々な材料にイオンを埋め込むのに十分ではありません。銃からのデータ読み出しは、さらなる処理、より大きな制御、および高精度のためにVIIStaに収容されているコンピュータに送信されます。VARIAN VIIStaには、電子銃からの出力を監視するハイエンド制御装置も含まれています。このシステムは、イオンの速度と種類、およびその濃度の微調整を可能にします。これは、エネルギーレベルと移植方向の正確かつ安全な制御を可能にするため、移植プロセスにおいて特に有用である。このユニットは、プロセスの現在の状態も監視することができます。高精度の温度および電圧モニタリングのおかげで、注入プロセスの状態の変化をすぐに特定して追跡することができます。これにより、発生する可能性のある問題のより高い精度と迅速な削減が可能になります。最後に、VIIStaには、安全リスクが特定された場合にプロセス全体をシャットダウンする安全マシンが組み込まれています。これは、人員の安全と植え込みプロセスを効率的かつ正確に実行するのに役立ちます。結論として、VARIAN VIIStaイオンインプランターとモニターは、高度で信頼性の高い機器です。イオン注入から推測を取り除き、精度と精度を高め、安全性を向上させます。