中古 VARIAN VIISta PLAD #293807379 を販売中
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VARIAN VIISta PLADイオンインプラントは、あらゆる種類のインプラント工程で優れた性能を提供する、高性能で費用対効果の高いインプラントです。この革新的な装置は、幅広い材料の効率的、柔軟性、信頼性の高いイオン注入用に設計されています。あらゆるサイズと複雑さの基板への埋め込みに最適です。VIISta PLADイオンインプラントは、材料廃棄物を最小限に抑えて高速かつ精度の高いインプラント操作を実行できる、費用対効果の高い、効率的で正確な装置です。D +/D-イオン源、Si+イオン源、B2+、B5+、Ga2+などの重いイオン源など、さまざまなインプラント源で動作します。このシステムはまた、異なる線量測定要件に対応することができ、追加のハードウェアを必要とせずに着床することができます。VARIAN VIISta PLADイオンインプラントは、優れたビーム均一性とビーム配信の柔軟性を提供します。フィールドコントロールユニットを内蔵しており、ウェーハ全体に均一なフィールドを確保し、線量対深度比を均一に保つことができます。このマシンはまた、再作業を必要とするウェーハの数を減らし、インプラント効率を高めます。VIISta PLADモニターは、リアルタイムのデータを提供し、すべての重要なインプラントのパラメータを継続的に制御するように設計されています。このモニターは強力なソフトウェアおよび診断ツールと統合されており、ユーザーはビームパラメータとビームスポットサイズを監視できます。これにより、プロセス全体の時間や精度に影響を与えることなく、各プロセスのステップで必要な調整を簡単に行うことができます。VARIAN VIISta PLADイオンインプラントは、重いイオン注入、浅い接合部、金属インプラント、さまざまな形状とサイズのウェーハの注入など、さまざまな用途に使用できる汎用性の高いツールです。このツールはまた、お金のための優れた価値を提供し、非常に信頼性が高く、使いやすいです。これらの理由から、さまざまな製品やアプリケーションのメーカーにとって理想的な選択肢です。
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