中古 VARIAN VIISta PLAD #293804201 を販売中

VARIAN VIISta PLADは、半導体製造および研究における専門的な使用のために設計されたイオンインプラントおよびモニターです。このハイエンドデバイスは、イオン注入の比類のない制御と精度を提供すると同時に、インプラント後のプロセス制御のための優れた分析ツールを提供します。この装置のイオン注入器の部分は、圧力制御されたイオンビーム源で、プラズマダイオードを使用して、基板に偏向し加速される高エネルギーイオンを生成します。リン、ホウ素、ヒ素、アンチモンなどの基材に幅広いイオンを正確に投与することができます。イオン注入プロセスのシステム定義は、リアルタイムの状態監視を提供するグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して作成されます。さらに、多目的診断システムにより、着床時のイオンビームのin-situ解析とポストインプラント監視の両方が可能になります。システムのモニター部分には、パターン認識認識器のハードウェアとソフトウェアが搭載されており、ユーザーはプロセスステップの安定性をすばやく分析し、異常や不安定性を検出することができます。これは、イオン注入プロセスの最適化と再現性に役立ちます。さらに、Ion Induced End Point Measurement （IIePm）などのプロセス監視技術により、イオン注入歩留まりが向上し、プロセスの安定性が向上します。VIISta PLADは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルディスプレイが付属しており、信頼性と耐久性の両方であるように設計されています。それは優秀な質および長い生命を保障する芸術の部品の高度の技術そして状態を使用してなされます。さらに、このデバイスは、ユーザーがカスタム機能を追加できるさまざまなオプションパッケージで利用できます。安全性を高めるため、過圧遮断や抗菌フィルターなど、さまざまな安全機能を備えています。結論として、VARIAN VIISta PLADは、優れた精度、制御、および信頼性を提供する高度で信頼性の高いイオンインプラントおよびモニターです。このデバイスは、イオン注入プロセス全体に対する比類のないレベルの精度と制御をユーザーに提供し、プロセス最適化のための詳細なレポートも提供します。