中古 VARIAN VIISta MC80 #9282294 を販売中

VARIAN VIISta MC80は、VARIAN Semiconductor Equipment Associates、 Inc。のイオンインプランターおよびイオンモニターです。（VSEI）。この装置は、半導体およびMEMS部品の埋め込みおよび監視に使用するために設計されています。このシステムは、80kVタンデム加速器を使用して、高エネルギービームのイオンを作成します。このイオンのビームは、加速器の複数の静電レンズによって集中され、複数のデフレクタによって所望のビームサイズと形状に操作されます。ユニットはユーザーインターフェイスによって制御され、個々のコンポーネントパラメータを設定および監視することができます。VIISta MC80には、ビーム電流、ビーム形状とサイズ、および長方形と円形のビームのスポットサイズを記録するビーム電流モニタの範囲が装備されています。これにより、ビームのパラメータを精密に制御でき、部品を埋め込む際の精度が向上します。さらに、ビームリミッターなどの幅広い安全対策を備えており、部品に損傷を与えないようにしています。VARIAN VIISta MC80は、ホウ素、ヒ素、リン、シリコンなどの幅広い材料に使用できます。さらに、適切なコンピュータプログラムと組み合わせてビーム電流モニタの範囲を使用すると、埋め込まれた材料の種類と所望の用量の両方を正確に制御することができます。さらに、このツールは、インプラントの状態をリアルタイムで監視し、問題になる前に問題を検出することができます。VIISta MC80は、自動化されたウェーハ転送メカニズムにより高スループットで動作することができ、1時間あたり最大200個のウェーハを処理できます。インプランター室では空気清浄度が得られるため汚染レベルが低く、加工する部品の歩留まりが高くなります。VARIAN VIISta MC80は、高品質の結果を一貫して提供できる信頼できる資産です。さまざまな用途に合わせた幅広いオプションを提供しているため、さまざまな部品や材料の埋め込みに適しています。このモデルはユーザーフレンドリーで、問題や介入なしに長時間実行できます。半導体およびMEMS業界で使用されるインプラントの作成と監視の両方に最適です。