中古 VARIAN VIISta HCP+ #293650710 を販売中

VARIAN VIISta HCP+は、今日の集積回路業界のニーズを満たすように設計された高容量イオンインプラントおよびモニタです。VIISta HCP+は、小型、低真空、リニアアクセラレータのような設計で、大量のデバイス生産に適しています。これは、クラス最高のプロセス制御を提供するように設計されており、密接な間隔と可変的な深さの埋め込みを可能にする高度な監視および制御システムを備えています。HCP+装置は、フィラメント、イオン源およびイオンアンプ部品、3つの電極加速システム、およびモニターおよび制御ユニットで構成されています。単一の均一なエネルギービームはイオン源によって作り出されます、そして3つの電極によって増幅され、加速されます、範囲内のあらゆるエネルギーに調節可能な電圧と。モニターと制御装置により、オペレータはインプラントのエネルギーを非常に細かく正確に予測して制御することができます。また、完全なプロセス制御と再現性を保証する診断機能も提供します。可変ビーム制御により、ユーザーはプロセスのニーズに合わせてビーム電流とスポットサイズを最適化できます。VARIAN HCP+は、ウェーハエッチング、イオン注入、さらにはナノサルガリーにも使用できる非常に汎用性の高いプラットフォームです。高いビーム電流、広いドームエネルギー（様々な深さのインプラントを生成）を持ち、複数の通電インプラントのビームスキャンパターンを制御できます。HCP+は、高度なICの生産をサポートするように設計されており、高度な監視および制御ツールにより、大量の一貫した均一なインプラントを正確に製造できます。この資産は卓越した柔軟性を提供し、ユーザーは即座にインプラントの指示を調整し、リアルタイムでパフォーマンスを監視することができます。さまざまなIC製造プロセスに理想的な選択肢であり、コスト意識の高い大量生産環境に最適な比類のないコスト：パフォーマンス比を提供します。