中古 VARIAN VIISTa 810XP #9111140 を販売中
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VARIAN VIIISta 810XPイオンインプランター&モニターは、強力で汎用性の高い混合モードイオンインプランターであり、1台の機器で軽量および重量イオンのインプラントと監視機能の両方を可能にします。シリコン、絶縁体、化合物半導体ウェーハなど幅広い材料に適しています。高度な電子デフレクターシステムにより、810XPはウェーハに不純物を正確に取り込むことができ、その電子的および光学的特性を制御することができます。この810XPは、インジェクタ、デジタルアクセサリー、リニアアクセラレータで構成されており、重いイオンのイオンビームを最大160keVまで推進することができ、より軽いイオンの経路は10MeVまで長くなります。イオンが目標材料に到達することを保証するために、810XPには2つの独立したビーム光学システムが装備されています。VIIISta 810XPのモニターユニットは、4段階の質量分析計と容量結合プラズマ源を備えており、着床時の汚染イオンのレベルを正確に監視および制御することができます。現地の環境に関する詳細な情報を提供することで、810XPを迅速に修正し、ドーピングプロセスを正確に制御することができます。VARIAN VIIISta 810XPには、オペレータとその環境の安全を確保するための高度な安全機能も装備されています。それは潜在的な放射の危険から目を保護する自動暗くなるレンズが付いている緊急停止ボタン、連結システム、また安全eyewearを含んでいます。さらに、真空チャンバの温度、圧力、磁場をリアルタイムで監視し、最適なプロセス動作を保証します。VIIISta 810XPは、さまざまな材料に幅広いイオンを埋め込むことができます。それは材料の管理されたドーピングを可能にします;電子および光学効果を非常に高めることができる作成します。この810XPは非常に汎用性が高く、強力であり、多くの業界やアプリケーションで使用することができます。高度な安全制御と組み合わせることで、810XPは精度と正確なイオン注入に適しています。
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