中古 VARIAN VIISta 810Xer #9215997 を販売中
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販売された
ID: 9215997
ウェーハサイズ: 12"
Medium current ion implanter, 12"
Control:
IAN Computer (6A51) E11130730
NCS Computer (6A52) E11083873
VEST Computer (6A69) Old type
Hardware configuration:
Cryo pump:
(4) CTI-320F
CTI-250F
Compressor: (2) IS-1000
TP1: BOC EDWARDS 800 Liters
TP2: BOC EDWARDS 800 Liters
Source dry pump: ESR20N
ES Rough pump: EST100WN
Diff pump: Scroll pump
Source: IHC
Gasbox:
N2 HP 5sccm
BF3 SDS 5sccm
AsH3 SDS 5sccm
PH3 SDS 5sccm
N2 HP 5sccm
N2 HP 5sccm
Facilities:
Main PD: CVCF
Gasbox exhaust
RP2 Exhaust
Chiller NasLab
Roof fans: No
Pfg xenon gas
Di Cart: Near tool control rack
ES:
Elevator: Without brake
Profiler: Rack and pinion
Tilter
BROOKS Buffer robot
LP TAS300 Plus
Maximum energy: 900 KEV.
VARIAN VIISta 810Xerは、イオンインプラント工程を優れた制御を可能にする最先端のイオンインプラントおよびモニタリング装置で、ユーザーは最先端の技術を簡単に作成できます。半導体およびMEMS製造プロセスで使用するために設計されており、イオン注入プロセスで高精度と再現性を提供します。システムは、ビーム電流、エネルギーレベル、スポットサイズ、およびその他のパラメータを含む幅広い調整可能なパラメータを備えた高度なイオン源によって駆動されます。これにより、ユーザーはイオン注入プロセスを簡単に調整して、正確な要件を満たす技術を作成できます。さらに、最大10Aの電流に敏感なイオン検出器を搭載し、プロセスの監視に優れた精度を提供します。このユニットは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーは単一の画面から操作を簡単に監視および制御することができます。さらに、このマシンにはリアルタイムデータ収集ツールが含まれており、ユーザーはパラメーターを手動で調整することなくインプラントのパラメーターを最適化できます。さらに、包括的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーは単一の画面でインプラント処理を視覚化することができます。アセットは、最大の効率と信頼性のために設計されています。広い温度範囲に対応した革新的な低圧インプラントチャンバーを備えており、ユーザーはパフォーマンスを損なうことなく幅広い温度でインプラントを実行できます。さらに、このモデルは包括的な機器診断スイートを提供し、ユーザーはコンポーネントの障害をすばやく特定してトラブルシューティングすることができます。VARIAN VIISTA 810 XERは、優れた精度と信頼性の高い性能を提供する、最先端のイオンインプラントおよびモニタリングシステムです。高度なイオンソースと統合モニタリングユニットにより、半導体およびMEMS製造プロセスに最適であり、イオンインプラント工程の優れた制御を提供します。
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