中古 VARIAN VIISta 810EHP #9096214 を販売中

VARIAN VIISta 810EHPは、世界最先端の半導体デバイス製造プロセス向けの高性能イオンインプラントおよびモニタです。810EHPは、MEMS、 SOI、および高度なCMOS技術の最新技術と高い生産性と精度を兼ね備えています。810EHPは完全に自動化された「クローズドループ注入」装置を提供し、ユーザーは精度と生産の一貫性を高めるためにインプラント工程を積極的に監視および制御することができます。このシステムは、ビームエネルギーと線量を迅速に調整することができ、経路長、側壁角、ドーパントプロファイルなどのインプラント特性を制御することができます。この810EHPは、洗練されたマルチゾーン、単一の磁石電源と高効率ビームスキャナを備えており、正確なインプラント制御を提供します。8ゾーンスキャナは、ユニットに速度と柔軟性を追加します。また、810EHPは高度なリアルタイム解析機能を備えており、オペレータはインプラント操作中にビームの安定性と線量を調整することができます。統合された高解像度のデジタルスリット画像ジェネレータにより、オペレータはインプラント中のインプラント角度を監視および制御することができます。これは、望ましいドーパントプロファイルを達成するために重要です。この810EHPは、均一な用量で一貫した正確で反復可能なインプラントのプロファイルを生成することができます。810EHPは、大量、高速生産の厳しい要件を満たすように設計されています。それは強力な、静かな冷却機械および高温およびデューティ・サイクルのための長期操作安定性の頑丈な電源を特色にします。810EHPには、信頼性の高い負荷/アンロード機構と高速スループットのための調整可能なカセット速度を備えた頑丈な11位置のウェハカセットも装備されています。この810EHPは、高精度、生産の一貫性、および高度な半導体デバイス製造プロセスの制御を備えた高性能イオンインプラントおよびモニタです。統合されたマルチゾーン電源と高度なデジタルスリット画像ジェネレータは、精度、安定性、再現性を提供します。810EHPは、強力で静かな冷却ツールとヘビーデューティ電源、便利なウエハカセット、高速スループットのための迅速な負荷/アンロード機構を備えた、大量の高速生産のために設計されています。