中古 VARIAN Viista 810 #9411062 を販売中

VARIAN Vista 810は、半導体デバイスの製造における幅広いプロセス要件を満たすことに特化した、信頼性の高い高度なイオンインプラントおよびモニター装置です。これは、特定の顧客の要件を満たすためにプロセスの柔軟性の高い完全にカスタマイズ可能なソリューションを備えています。プロトタイピング時に、Vista 810は迅速かつ信頼性の高い特性評価と複雑なプロセスの統合を容易にし、完全な製品認定フローをサポートします。これは、長年にわたってテストされ、証明されている有名なVARIANタイプ810アーキテクチャ上に構築されています。直感的なユーザーインターフェイスと直感的なグラフィカルツールにより、操作とメンテナンスが簡単に行えます。Vista 810は2種類のイオンインプラントを備えています。伝統的な中電流インプランター、一般的にDCインプランターと呼ばれる、また、ACインプランターとして知られている高度な高電流インプランター。中電流インプラントの標準解像度は0。1 μ mで、オプションの画像補正部品で変更できます。ドーピングプロファイルを正確に制御する機能は、特許取得済みの磁気隔離技術によってサポートされています。Vista 810は、あらゆる注入システムで利用可能な最高クラスのイオン均一性を実現します。高度な高電流インプラントは、大きな基板を埋め込むために広い領域に焦点を当てた小さなビームを介して最大の柔軟性を提供します。また、タイトなプロセス制御を提供し、基板全体にわたって迅速なサイクル時間と正確なイオン均一性をもたらします。8ゾーンビームユニットは、効率的な注入のための高速かつ正確なビームトラッキングを保証します。Vista 810には、高度なADIStabモニターと刺激装置が搭載されており、プロセス環境からの影響を同時に検出して形作ることができます。このツールは、正確な時間駆動およびエネルギーニュートラルな監視と刺激機能を通じて意図しないプロセス変数を検出および制御することができ、正確で信頼性の高いプロセス制御を提供します。このアセットは、半導体製造プロセスにおける正確かつ効率的な埋め込み用に設計されており、精密な操作のためのさまざまなプロセス、制御および分析ツールが付属しています。このモデルはまた、プロセスセキュリティ監視を提供し、最適な結果を得るために適切なパラメータの組み合わせが維持されるようにします。Vista 810は、インプラントのプロセスをシミュレーション、分析、最適化する信頼性の高いツールとして機能し、妥協のない信頼性で正確かつ正確な結果を提供します。