中古 VARIAN Viista 810 #9256809 を販売中

VARIAN Viista 810は、製品の品質と信頼性を維持しながら、半導体製造で高い生産性を提供するように設計されたイオン注入および監視装置です。このシステムは、ヒ素、ホウ素などの幅広い種を埋め込むことができます。高度な設計と高出力機能を備えたViista 810イオンインプランターは、低コストと複雑さで優れた性能を提供します。このユニットは、加速チャンバー、質量分析器、掃除機、ビームモニターなど、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。加速チャンバーはステンレス製の真空チャンバーで、イオンを所望のエネルギーレベルまで加速するために使用される強力な電磁石を備えています。質量分析装置は、イオンを質量で分類し、正しい原子比で移植できるようにするために使用されるイオン分光計です。掃除機はアセット内の一定の圧力と清潔さを確保するために使用されますが、ビームモニターはオペレータがイオンビームの形状、サイズ、位置を制御することを可能にします。VARIANの高度なイオン注入技術は、優れたプロセス制御を維持しながら高い生産性を提供するように設計されています。このモデルには、最適な生産性と優れたプロセス安定性を実現する高度な分散制御アーキテクチャが装備されています。高速ロードロック装置と効率的なウェーハ転送システムを備え、生産性を向上させます。また、最新のイオンビームモニターを搭載し、ビームパラメータのリアルタイム監視を提供します。VARIAN Viista 810はモジュール式でスケーラブルなアーキテクチャで設計されており、柔軟性とコスト削減を実現しています。このマシンは、さまざまなレベルのスループットとプロセス機能を提供するために、いくつかのサイズで利用できます。コンパクトなフットプリントと合理化された構造を備えているため、インストールとメンテナンスが簡単です。Viista 810は、生産およびR&D設定での使用に適しており、ユーザーはプロセスパラメータをすばやく切り替えることができます。高度な監視および制御機能により、このツールは製品の品質と信頼性を保証します。消費電力が少ないため、トータルサイクルタイムを短縮し、歩留まりを向上させることでコストを削減できます。イオン注入とモニタリングのための最も信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションの1つです。