中古 VARIAN Viista 810 #9226925 を販売中

VARIAN Viista 810
ID: 9226925
ウェーハサイズ: 8"
Medium current implanter, 8".
VARIAN Vista 810は、イオン注入を効率的かつ正確に制御するために設計されたイオンインプラントおよびモニター装置です。このシステムは、移植されたイオンの正確な配置と埋め込みを保証する安定した高精度の環境を提供します。このユニットは、高電圧発電機、レーザー誘導ビーム位置決め機、ビームモニター、およびイオン電流フィードバック制御を利用しています。VARIAN Vista 810は、超低ノイズパワーコンディショナを使用してイオンビーム電源を最適化します。このコンディショナは、最大99kVのパルスと最大1GBqのイオン電流を生成する高電圧ジェネレータで構成されています。発電機にはレーザー誘導ビーム位置決めツールが装備されており、最大エネルギー点からイオンビームを正確に位置決めできます。さらに、ビームモニターとイオン電流フィードバック制御を使用して、正確なイオン注入と投与量を確保します。このモデルは、グラフィカルユーザインタフェース(GUI)を備えた専用のデータ収集および制御機器(DACS)を使用しています。この機能により、迅速かつ簡単なデータ取得と制御が可能になります。さらに、DACSとGUIを使用すると、ビームパラメータ、ビーム軌道、安全限界などのシステムの設定とパラメータをカスタマイズできます。VARIAN Vista 810は安全性を考慮して設計されており、インターロック回路、アーク抑制回路、イオンブロードバンドゴーグルなどの多数の安全設備を提供しています。この高度な安全ユニットは、着床時に発生する有害なイオン化粒子への潜在的な人員の暴露を低減するのに役立ちます。最後に、このマシンには包括的なサービスとサポート機能が付属しており、ツールがピークパフォーマンスで動作し続けることを保証します。これには、テクニカルサポート、トレーニング、スペアパーツ、トラブルシューティング診断、メンテナンスサービスが含まれます。これらのすべての機能は、アセットのユーザーフレンドリーなデザインと優れたパフォーマンスを兼ね備えているため、VARIAN Vista 810は効率的で正確なイオン注入に最適です。
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