中古 VARIAN Viista 810 #62638 を販売中
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販売された
ID: 62638
Medium current ion implanter, 8"
CE Marked
Energy Range: 5 – 810 keV
Dose Range: 1xe11 – 1xe16
Programmable Tilt Angle: +/- 60deg
Source Type: IHC Source Tungsten
Cassette Interface:
2 Bolt-On Asyst LPT-2200
PRI Robot Handler
Chuck Type: Gas Cooled ESC (Composite Platen)
Options:
Low Energy upgrade
Thru Beam Wafer Mapping system
DELL Server (IAN)
VESDA Smoke Detector system (Laser Plus)
GEM / SECS
Std Network Comm. Capability
End Station Cryo Pumps:
Process Chamber: 3 Brooks/Helix OB-250F
Scan Chamber: Brooks/Helix OB-250F
Turbo Pumps:
Source Turbo: Pfeiffer TPH 521 YP without Gate Valve Service PC
Beam Line Turbo: Pfeiffer TPH 521 YP
Left Load-Lock: Pfeiffer TPH 521 YP
Right Load-Lock: Varian V300C
Gas Configuration:
AsH3 - SDS
PH3 - SDS
BF3 - SDS
Ar (N2) - HP
XE (N2) - HP
Software:
NCS / IAN: Win2k pro
VCS: v 6.70 SP3
V 208, 3-Phase, Freq 50Hz
2001 vintage.
VARIAN Viista 810は、統合されたイオンインプランターとモニターです。イオンインプラント技術のリーダーであるVARIANによって開発され、この高度に専門化された分野で60年以上の経験に裏打ちされたViista 810は、イオンインプラントとモニタリングの重要な分野で強化された機能を提供します。その中心にある810は、高性能イオン注入器です。多種多様な材料に異常な精度で複数の種やエネルギーを埋め込むことができ、これまでにない高いスループットを生み出します。高集束ビーム、加速電圧、高度な光学系を使用することで、810は市場の他のマシンと比較して高い範囲の制御と精度を提供します。さらに、810は毎秒40イオンまで埋め込むことができ、合計電流負荷は最大400ミリアンプです。しかし、VARIAN Viista 810が本当に優れているのは、その印象的な監視機能です。本機は、IOES (in-situ beam optical emission spectroscopy)センサを使用して、イオンなどのビーム特性のエネルギーをリアルタイム性能で測定します。このレベルの制御により、VARIANは高度な制御アルゴリズムを開発および実装し、インプラント層の均一性と再現性を保証します。さらに、810は最先端の高度制御システムを備えています。Viista 810は、最大加速電圧を30kVまで延長することにより、一定のビーム角度制御を保証し、高い傾斜角度でも回転追跡により高い精度を実現します。この最先端のシステムはまた、危険なビーム条件が検出された場合に自動シャットオフで埋め込み中の安全性を向上させます。これにより、ヒューマンエラーのリスクを低減し、生産効率と品質を大幅に向上させることができます。要約すると、VARIAN Viista 810は、市場の他のモデルと比較して強化された制御と精度を提供する統合されたイオンインプランターおよびモニターです。インサイト光放射分光センサとオートシャットオフ安全機能により、インプラント中のヒューマンエラーのリスクを最小限に抑えることができます。
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