中古 VARIAN Viista 810 #193756 を販売中
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販売された
ID: 193756
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2000
Medium current implanter, 12"
Specifications:
VIISTA 810 End Station (includes polished load lock chambers)
Standard power kit
(3) High voltage warning display
Tungsten Bernas gas ion source
Bernas source Dual vaporizer
Standard Gas Box, external inert purge
External Argon (position #1)
SDS BF3 gas card (UY Bottle) (position #2)
SDS Arsenic gas card (JY Bottle) (position #3)
SDS Phosphorus gas card (JY Bottle) (position #4)
Pigtail select
External inter purge gas facility
Minimized Gas mix manifold
Bottle adapters
Rotating Mass slit assembly
Water-cooled CTI 9600 Cryogenic compressors (2 each) onboard
Chiller unit for wafer chuck (R507 refrigerant)
Xenon Gas for PFS flood gun (Lecture bottle)
Scanning faraday
12" Wafer Chuck
Dose Processor Assembly
Dose Controller
Profiler Drive Assembly
VCS Computer system
Plasma Flood Gun Kit
Closed Loop Faraday assembly
Manometer kit, 3 readouts
Spectra RGA Hardware integration
PMS particle monitoring hardware integration
Varian control system software: Rev 03.03.0118
Configuration Software Viista 810 Rev M1 config 503
SECS / GEM communication capable
Cryo Pumps:
(3) CTI 250F for endstation
(1) CTI 250F for beam-line
Roughing Pumps:
(1) Edwards iQDP40 in HV Terminal
(1) Edwards iQDP80/QMB500 for endstation
(1) scroll pump for differential seals
Turbomolecular Pumps: Varian ICE turbo pump kit
V700 on the filter, V300 on the source
Vesda Smoke Alarm System, Model VLC-500 detector
Currently installed
2000 vintage.
VARIAN Vista 810は、イオンを基板に正確かつ信頼性の高い埋め込み用の高性能イオンインプラントおよびモニターです。幅広い用途において、イオンの最も正確で正確な埋め込みを実現する先端技術を提供します。Vista 810は、カスタマイズされたスキャン装置を使用して、スキャンの均一性と精度を確保し、優れた埋め込み品質を保証します。Vista 810は、幅広いインプラント用途に対応できます。その印象的なビームの均一性と精度により、高度な半導体プロセス開発や生産に最適です。このシステムは、磁気的に閉じ込められたイオンビーム、コリメーションイオンビーム、粒子ビームスキャンなど、他のVARIANイオンインプランター技術を活用するように設計されています。Vista 810は、さまざまなエネルギーで幅広いイオン種を提供する高度な超高電圧イオン源を備えています。このソースは、従来のソースよりもはるかに高い着床精度を提供します。このユニットには、イオンの位置を測定するための高度なイオンビームプロファイルモニターも含まれています。このモニターにより、ビームプロファイル内の歪みを迅速に検出できます。Vista 810は、インプラント処理を強化するために設計されたさまざまな機能もサポートしています。このマシンは、可変開口部や光学部品などの追加要素を使用して最適化された実験を実現するなど、さまざまなビームライン構成を実装することができます。Vista 810には、高度なデータ収集および分析機能も搭載されています。これにより、さまざまな材料のインプラント形状を正確に特徴付けることができ、パフォーマンスが向上します。全体として、Vista 810は高度なイオンインプラントおよびモニターであり、優れたインプラント精度と均一性を提供するように設計されています。その機能と機能の範囲は、高度な半導体や生産プロセスでの使用に最適です。Vista 810は、高度なスキャンツール、高電圧イオンソース、データ収集および分析機能を備え、幅広いインプラント用途に信頼性の高いインプラントおよびモニタリングを提供します。
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