中古 VARIAN VIISta 810 HP #9093342 を販売中

VARIAN VIISta 810 HPは、VARIAN Semiconductor Equipment Associates、 Inc。が開発した高性能イオンインプラントおよびモニター装置です。この機械は、最先端の半導体製造プロセスの要求を満たすように設計されており、イオンの埋め込みにおけるより高い精度と性能を可能にしています。このシステムはハイブリッドアーキテクチャを備えており、高電圧の直流（DC）イオンソースデバイスと統合ウェーハ再構成装置を組み合わせています。この再構成器は、埋め込みイオンの一定かつ一定の品質を確保するのに役立ち、ウェーハに埋め込まれたイオンの線量を正確に制御することができます。イオン源デバイスには、ソースとインプラント領域の両方のシールドも含まれており、信頼性の高い安全な操作を可能にします。VARIAN VIISTA 810HPは、インプラント線量と種、圧力、動作パラメータ、および単位状態を含む重要な情報を提供する、大きくて読みやすいデジタル表示装置を備えています。また、自動校正機能を備えており、埋め込みの精度を最適化し、ウェーハ内のイオンの分布を継続的に監視し、指定された許容範囲内に保つことができます。このマシンには、高効率イオンビーム発生器、基板対応DCイオン源、高電圧で強力なイオンビーム源など、多くのイオン源が含まれています。ビーム源は劇的に精度と解像度を向上させるだけでなく、高用量と以前よりもはるかに低いビーム損失を可能にします。このツールには、強力なアセットレベルの診断ツールも含まれています。これらには、複数のビーム光学パラメータの解析と表示を可能にする統合ビーム光学データモデルと、システムの動作中の障害を識別および分離するフォルト検出および絶縁（FDI）装置が含まれます。診断結果は将来の参照のために安全なデジタルメモリに保存され、機械の維持と開発に貴重なデータを提供します。VIISta 810 HPは、市場で最も先進的なイオン注入ソリューションの1つであり、精度、性能、安全性を兼ね備えています。一貫した品質のインプラントを確保することで、収量を最大化し、コストを削減するのに役立ちます。小型で信頼性が高く堅牢なため、最新の半導体製造プロセスに最適です。