中古 VARIAN VIISta 810 HP #9051773 を販売中
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販売された
ID: 9051773
ヴィンテージ: 2003
Ion implanter
Wafer Shape SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer Cassette 8" Plastic Miraial
SMIF Interface NO
Power Distribution 208V 60Hz 75KVA 3phase Y-connection
Control System 1GHz Computer
Software Version Number V810hp 06 71 38
Gasbox1 Ar HP external supply
Gasbox2 N/A (SDS)
Gasbox3 ASH3 SDS
Gasbox4 PH3 SDS
Gasbox5 BF3 HP
(6) Cryo pump CTI CT-250F
(3) Cryo Compressor CTI 9600
(2) Ebara A10S Roughing Pumps
(1) Varian triscroll300 Roughing Pump
TMP Edwards STPH301C
TMP2 Edwards STPH803C
TMP3 varian HT-300
TMP4 varian HT-300
Ion Source Dual Filament Bernas type
Dual Vaporizer Nothing
Beam Reducer Nothing
Platen E-CLAMP
Beam Energy:
5-250keV (Signle charged Ion)
250-500keV (Double charged Ion)
500-750keV (Triple charged Ion)
Auto Accel/Decel mode
208 V, 50/60 Hz, 3-Ph, 5-Wires, 35 kVA, 97 FLA
2003 vintage.
VARIAN VIISta 810 HPは、さまざまなプロセス制御および機械工学アプリケーションに使用される高性能イオンインプランター&モニタです。イオン注入に関連するさまざまなプロセスを正確に監視および制御するように設計された先進的な装置です。これにより、製造メーカーは最高レベルの効率と精度を維持し、品質や量を犠牲にすることなく望ましい効果を達成することができます。VARIAN VIISTA 810HPはイオン注入のための効率的で信頼性の高いツールであり、ユーザーは注入量、ビームスポットサイズ、エネルギー設定などのさまざまなパラメータを簡単に制御できます。また、マルチプロセスとメモリプリセットによる迅速なプリプログラミング、リアルタイムの電流容量監視、再現可能な結果のプロセス自動化など、高度な機能も備えています。VIISta 810 HPは柔軟性と堅牢性でも知られており、さまざまな材料の埋め込みや各種基板の精製など、幅広い用途に使用できます。VIISTA 810HPはまた、優れたビーム制御と機器の監視を備えており、ユーザーは操作が最適化されていることを確認することができます。ビーム制御は、正確な着床パラメータを可能にし、システム監視機能は、着床速度、ビーム角度、電圧、電流などのデータの範囲を提供します。この包括的なユニットには、ユーザーが安全性と信頼性を最大限に確保できるさまざまな安全機能も含まれています。VARIAN VIISta 810 HPは、高度なイオンインプランター&モニターで、最高レベルの精度、速度、柔軟性、安全性を提供します。それは機械工学およびプロセス制御の適用の広い範囲のために設計されています、あらゆる操作の信頼できる結果を提供します。その複数のプロセス分解能、効率的な監視、高度な機械制御により、あらゆる環境に最適なソリューションです。
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