中古 VARIAN VIISta 80 #9262465 を販売中

VARIAN VIISta 80は、マイクロエレクトロニクスや半導体セクターなど、さまざまな産業分野に対応するように設計された高度なイオンインプラントおよびモニター装置です。このシステムは一貫して、費用対効果の高い方法で非常に均一で信頼性の高いイオン注入を生成します。VIISta 80は、イオン源と基板を正確かつ正確に操作するための4軸高解像度モーションコントロールユニットを備えています。これにより、幅広いエネルギー範囲の間でフィールドを変化させることができ、各インプラントを特定の材料の特定のニーズに合わせて調整することができます。例えば、低エネルギーインプラントは4H-SiCへの埋め込みに優れていますが、高エネルギーインプラントは半導体に有用です。VARIAN VIISta 80のイオン源は、Ar/O2またはXe/O2化学を使用したデュアルアノードマシンで、最大60kHzを実行して非常に高速なスループットを提供できます。このツールは、所望のインプラント・エネルギーまでバイアスすることができるDC電源を備えています。さらに、VIISta 80は高精度のビームモジュレーションを備えており、インプラントを優れた精度で基板のサイズにチューニングすることができます。VARIAN VIISta 80には、インプラントの精度と再現性を保証するプロセス監視および制御システムも装備されています。これらには、リアルタイム粒子カウント、リアルタイム種分析、エンドオブレンジ線量のコンピュータ制御、およびエンドオブレンジ線量のリアルタイムトラッキングが含まれます。さらに、この資産は、必要な修正を迅速かつ簡単に行うことができるように、完全なプロセス監査および診断レポートを実行するように設計されています。全体として、VIISta 80は高度なイオンインプラントおよびモニターモデルであり、正確で均一で信頼性の高いインプラントを一貫して費用対効果の高い方法で提供します。VARIAN VIISta 80は、監視・制御システムの最新技術を活用し、一般的な半導体製造から航空宇宙および自動車部品まで、幅広い用途で安全かつ確実に動作します。