中古 VARIAN VIISta 80 #9203950 を販売中

VARIAN VIISta 80
ID: 9203950
ウェーハサイズ: 8"
Implanter, 8".
VARIAN VIISta 80は、イオン注入とモニタリングの分野で最先端の技術です。様々なウエハや基材に優れた精度とスループットを提供できる高性能インプラントです。電子部品の基礎となる様々な半導体構造を作成するための信頼性の高いイオンインプラントのパラメータを提供します。VIISta 80コンポーネントには、スキャン可能なイオン源、スキャンコリメータ、パルスモード検出器、レーザービームプロファイラ、センサーシステム、ターゲット磁石、および高電圧電源が含まれます。スキャナブルイオンソースは、ターゲット材料上に異なるイオンを配置することを可能にするツールです。半導体構造を作成したり、既存の構造を変更するために使用できます。スキャニングコリメータは、精密なインプラントのビームサイズと形状を制御するために、集中磁場と電界を使用します。Pulsed Mode Detectorは、移植された材料から出てくる中性子の個体数を測定します。また、最適なエネルギー入力のために高電圧を調整するためのデータも提供します。レーザービームプロファイラは、埋め込みイオンビームの均一性を監視するデバイスです。センサシステムは、基板表面の変化を検出するために責任があります、ターゲット磁石は、埋め込む前にイオンの収集と位置決めに使用されています。最後に、高電圧電源はビームスキャン用の電圧を供給し、インプラント操作をパルスまたは連続モードで実行します。また、潜在的な埋め込み損傷に対する保護も提供します。全体的に、VARIAN VIISta 80は信頼性の高い正確なイオンインプラントシステムを提供します。正確なインプラント制御、スループットの向上、正確なモニタリングを行うことで、インプラント材料の最高品質を保証することが信頼されています。この装置は、高性能で費用対効果の高い電子部品を作成することができます。
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