中古 VARIAN VIISta 3000XP #293745746 を販売中

ID: 293745746
High current implanter.
VARIAN VIISta 3000XPは、半導体イオンリソグラフィ用途向けに設計された最先端のイオンインプランターおよびモニターです。これは、半導体業界で好ましい選択肢となるさまざまな機能を備えた広く尊敬されているツールです。この装置は、最大の電力と精度のための高エネルギー、高電流イオンのビームを備えています。VIISta 3000XPには調整可能なビームスポットサイズコントロールがあり、ユーザーはビームのパラメータを微調整して、正確さを損なうことなく所望のインプラントの深さやカバレッジを得ることができます。この機能により、複雑なパターンでビームを構成することが容易になり、イオン注入のプロセスがより迅速かつ効率的になります。また、高精度の半導体プロセス仕様に準拠した高度な診断・モニタリングユニットを搭載しており、ユーザーは自信を持って1台のマシンから次のマシンにプロセスレシピを転送することができます。機械はまたあらゆる単一の注入のための最もよい結果を得るのを助ける実時間ビームスポットモニタリングを提供します。もう一つの大きな特徴は、ユーザーフレンドリーなインターフェイスとアプリケーションソフトウェアです。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、オペレータはツールを簡単に設定してさまざまなイオンインプラント要件を満たすことができます。アプリケーションソフトウェアを使用すると、プロセス開発と製品追跡、およびジョブ履歴データを追跡できます。その上に、アセットは高度なビームエネルギー制御モデルを提供しており、ユーザーは最適化されたプロファイル制御のために10kVに高い均一なエネルギー配置を達成することができます。全体的に、VARIAN VIISta 3000XPは印象的なツールです。優れた精度と精度で生産性とコスト削減を実現します。多種多様な機能を備えており、あらゆるイオンインプラント要件に最適です。
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