中古 VARIAN VIISta 3000HP #9210718 を販売中
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販売された
ID: 9210718
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2005
Ion implanter, 8"
Main circuit breaker: 225 AMP
Maximum beam energy: 3,750 KeV
Exhaust flow rate: 21~24 m³/min
PCW:
Input: 60~ 100 PSIG 60~ 100 PSIG
Flow rate: 20 GPM
Input temperature: 16~19°C
Pressure:
N2: 55~100 PSIG
Ar: 50~100 PSIG
Air: 90~100 PSIG
Implant dose accuracy:
Dose range: 5E10 to 1E16 ions/cm²
Uniformity: 1s < 0.5%
Repeatability: 1s < 0.5% (Wafer-to-wafer, cassette-to-cassette)
Beam parallelism: < 0.5° in X & Y Axis
Ion mass resolution: M//DM > 80
Throughput: 250 wph
Wafer breakage: 1:100000
Process angles wafer tilt:
-60° to +60° Programmable in 1° steps
Accuracy: ±0.5°
-25° to +60° (Roplat)
Pumping line: Under roof
Source head type: Bernas
Wafer orientation: 0° to 360° (Programmable in 1° steps, accuracy ±2°)
Recipe-controlled stepped wafer rotation
Particulate control:
Front side: < 0.15 particles added/cm² at > 0.16mm particles
Vacuum pump:
Turbo pump: STP1003
Cryo pump 1: 250F
Cryo pump 2,3,4: 400
GAS Box:
Ar High pressure / Internal
AsH3 Cylinder type: SDS
PH3 Cylinder type: SDS
BF3 Cylinder type: SDS
Gas line purge
End station module:
Wafer handler platform type: Standard
Tilter type: Standard
Faraday type: Standard
Enclosure:
Signal tower
Smoke detectors
Vacuum system:
Source:
Turbo pump type: STP1003
Rough pump type: KASHIYAMA SDE 90
Beam line:
Analyzer turbo pump type: STP1003
Beamline turbo pump type: STP1003
Beam roughing pump type: KASHIYAMA SDE 90
Chamber:
Chamber hi-vac pump: Cryo pump
Cryo pump type: CTI 400
Cryo compressor type: CTI 9600
Loadlock Hi-vac pump: CTI400
Loadlock roughing pump: KASHIYAMA SDE 90
Includes manuals & drawing books
Power: 208 V, 50/60 Hz, 3 Phase, 60 A, 4/5W
2005 vintage.
VARIAN VIISta 3000HPは、産業用途向けの汎用性の高い高性能イオンインプラントおよびモニターです。堅牢で耐久性に優れた設計により、幅広いインプラントエネルギーと固定ギャップパラメータを提供することができ、さまざまな材料の正確かつ制御された埋め込みを可能にします。VARIAN VIISTA 3000 HPは、高電圧源を利用して、試料材料に向かって加速されるイオン化された粒子のプラズマを生成します。粒子エネルギーと流量は調整可能であり、ユーザーは注入エネルギーとパラメータを正確に制御することができます。高度な充電補償技術を活用したモニター装置は、インプラントのエネルギーが低くても正確に制御され、調整されます。VIISta 3000HPは、プロトタイピング、ダイ、マスク、その他の産業用途に使用するための材料の信頼性と再現性の高い埋め込みを可能にする幅広い機能を備えています。それに調節可能なギャップおよび圧力設定の大きいサンプルそして基質を収容できる高容量の注入器があります。制御システムは高度にプログラム可能であり、ユーザーは自動または手動操作などの多くの方法で操作を実行することができます。VIISTA 3000 HPには、2つの独立した10チャネルのデジタル読み取り出力が装備されており、総用量とプロファイル監視が可能です。これにより、必要に応じて、注入プロセス中に注入プロセスを監視および調整することができます。真空キャパシタンスとビーム電流フィードバック技術を使用して、ビームの不安定性を補償し、一貫性のある線量とプロファイルを維持します。VARIAN VIISta 3000HPは、イオン避難ユニット、緊急停止ボタン、過負荷保護を備え、最大限の安全性を念頭に置いて設計されています。掃除機は低粒子環境を確保し、高度な防汚洗浄システムは操作中の不純物から保護します。VARIAN VIISTA 3000 HPは、信頼性が高く反復可能なイオンインプラントおよびモニターで、中量から大量の産業用途に最適です。その堅牢な設計と調整可能なパラメータにより、正確で正確な着床プロセスに最適です。
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