中古 VARIAN VIISta 3000 #9311154 を販売中
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VARIAN VIISta 3000は最先端のイオン注入器およびモニター装置です。インプラントされたイオンを様々なサイズ、厚さ、組成の半導体基板に迅速かつ正確に埋め込むように設計されています。ユーザーフレンドリーで、幅広いインプラント用途で正確で信頼性の高い操作を提供します。このシステムは、コンパクトで効率的な電子銃の周りに構築されており、インプラントの結果において前例のないレベルの再現性を提供します。この電子銃には高解像度の画像増強器が配列されており、幅広い基板上にイオンを正確かつ正確に配置することができます。このユニットには、ユーザーが高精度かつ正確に設定を簡単に調整できるようにする、専用のコントロールツールのセットも含まれています。モニター側に限り、VARIAN VI I STA 3000には高解像度のイメージングおよびデータ収集マシンが付属しており、プロセス中に完全な4D画像監視を提供します。これにより、注入条件とアクションを迅速に分析し、さらなる最適化を行うことができます。このツールはまた、結果を広範囲に解析するためのソフトウェアパッケージを備えており、迅速で高効率な解像度と埋め込みパラメータの最適化を可能にします。VIISta 3000はまた、その引き込み式ゲートアセットのおかげで、生産性とコスト効率を向上させるように設計されています。このゲートモデルは、最も困難な着床用途でも、均一な線量分布とカバレッジを保証します。さらに、この装置は自動化された冷却システムを備えており、プロセス全体にわたって機器と基板の安全な冷却温度を維持するのに役立ちます。全体として、VI I STA 3000は高度で信頼性の高いイオンインプラントおよびモニターユニットであり、幅広いインプラント操作において最高の性能と精度を提供します。その合理化された設計と複数の機能により、正確でリアルタイムなモニタリングが不可欠なアプリケーションに最適です。
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