中古 VARIAN VIISion 80 #9257909 を販売中

VARIAN VIISion 80は、半導体製造における自動注入プロセス用に設計された3軸イオンインプラントおよびモニター装置です。in-situモニタリングセンサーを搭載した堅牢なシステムで、過剰線量保護と深度制御のモニタリングが可能です。それは超高用量のために設計され、中型および低電圧の注入に使用することができます。VIISion 80は、最大速度60m/minの3軸モーションコントロールユニットを備えており、より大きなオーブンの迅速な着床時間を保証します。また、中低電圧注入用に設計された高出力の2ビームインプラントも備えています。電界線は、高度な電界分布とアライメント設計により最小化され、より高い精度と低用量の非均一性を可能にします。VARIAN VIISion 80には、機能検証、線量制御、およびツール監視用の業界をリードするセンサーとモニターが含まれています。過剰線量保護資産（ODPS）は、光子線量の不一致を検出し、高線量注入プロセスにおける過剰投与を防ぎます。さらに、ビームラインに沿って線量、エネルギー、角度、時間を正確にデジタル制御するためのin-situモニターを搭載し、インプラントの均質性と線量の均一性を最大化しています。また、VIISion 80は柔軟性と拡張性を考慮して設計されており、大規模な制御変更や再エンジニアリングを必要とせずに、追加の技術コンポーネントと移植プロセスへの変更を統合することができます。これにより、変化する技術を容易にするために、将来的なアップグレードと適応性が可能になります。VARIAN VIISion 80は、最適化されたビームライン性能と均一な線量のための適応型電子銃制御を備えています。また、ビームオン制御や真空最適化など、さまざまな埋め込み要件にも対応できます。最後に、このシステムは、顧客固有のニーズに合わせて設計された、ユーザー定義のパラメータで精密に設計されています。全体として、VIISion 80は3軸イオンインプラントおよびモニターユニットであり、着床プロセスを最適化するように設計されています。高出力の2ビームインプランター、過剰線量保護機、現場モニター、および将来のアップグレードのための適応性を備えています。このツールは、プロセス制御、線量制御、および正確性のために特別に設計されており、迅速かつ信頼性の高い埋め込みプロセスを実現します。