中古 VARIAN VIISion 80 #9212872 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 9212872
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Ion implantation system, 8"
Vacuum pump
EDWARDS iQDP80 Terminal dry pump type
EDWARDS iQDP40+QMB250 Chamber dry pump type
VARIAN tri scroll pump L/L dry pump type
STP1000 Beam line turbopump#1
STP1000 Beam line turbopump#2
VARIAN V250 L/L turbopump
(4) CTI, 250F Process chamber cryopumps
(2) CTI, 9600 Cryopump compressors
Gas system / Gas / MFC Type
Gas channel#1 / AsH3 Gas / SDS
Gas channel#2 / PH3 Gas / SDS
Gas channel#3 / Ar Gas / High pressure
Gas channel#4 / BF3 Gas / High pressure
PFG gas / Xe Gas / High pressure
Memory upgrade
CVCF option
Wafer size: 200mm
Main CB: 90 Amps
CVCF CB: 50 Amps
Auto disc angle motor
Host used, SECS
Source head type: Dual bernas
Faraday system: Magnet bias, PFG
Throughput(WPH): N6
Disc site type: Hook site, 13Sites
Elevator type: Modified 26
Lower slide pin
Laser align kit: No
W/H align kit: No
Utility
Supply type: Bottom
Remote pallet
Power: 208 Vac 3 Phase 5 wire, 50/60Hz, 35 kVA
Water: 40~100psi
Air: 90~125psi
PN2: 50~100psi
GN2: 50~100psi
Exhaust: 1600cfm
1997 vintage.
VARIAN VIISion 80は、集積回路やその他の半導体デバイスのイオン注入と監視が可能なハイエンドイオンインプラントおよびモニターです。埋め込みイオンに関しては、優れた精度と性能を提供するように設計されており、ユーザーは正確なドーピング濃度とダイ上の望ましい表面プロファイルを達成することができます。VIISion 80の高度な技術と直感的なユーザーインターフェースにより、経験の浅いスタッフでも機器をすぐに理解でき、さまざまな基板に合わせて設定を素早く変更できます。VARIAN VIISion 80は、イオン注入の精度、安全性、効率を向上させるさまざまな印象的な精度と安全機能を備えています。イオン源は、ハイエネルギーイオンの均一なパターンを提供し、ウェーハごとに一貫したインプラントを確保しながら、自動化された線量計は必要に応じてビーム強度を監視および調整します。VIISion 80には、基板の正確かつ正確な衝撃を保証する2ゾーンの光学校正システムも付属しています。最後に、ユニットの高度な電子モニタリングマシンは、正確な注入が行われることを保証します。このツールには、イオン注入の厳しさに耐えることができる多くのコンポーネントと機能が含まれています。20keVまでのイオン伝送が可能で、インプラント性能を著しく低下させることなく、ビームを20mmまで広げることができます。この資産の水晶光学窓は極端な環境条件のために開発されており、真空チャンバーは膨大な圧力範囲を持っています。モデルの複数のランプは、ウェーハの種類とサイズに関係なく、照明さえ保証します。VARIAN VIISion 80の洗練された監視装置は、インプラントのプロセスとステータスを継続的に追跡し、ユーザーは提示された情報に従って変更を加えることができます。このシステムは、インプラント工程の詳細な分析とレビューを提供するために、幅広いレポートとグラフを提供することもできます。モニタリングパッケージの一部として、ユニットの高度なイオンカウンターは、リアルタイムで正確な数の埋め込みイオンを提供し、ユーザーは推測と手動計算を排除することができます。全体として、VIISion 80は非常にプロセス時間とコストを削減して、ユーザーが正確で正確な結果を達成することを可能にする多くの高度な機能を含んでいる例外的なイオン注入器およびモニターです。その直感的なインターフェースにより、あらゆるレベルの専門知識を持つユーザーがイオン注入と設定をすばやく処理できるため、経験豊富な優秀なスタッフがタイムリーに必要な調整を行うことができます。大規模な産業用半導体アプリケーションに最適です。
まだレビューはありません