中古 VARIAN VIISion 80 #9108723 を販売中

VARIAN VIISion 80は、最高の効率と生産性を実現するために設計された技術的に高度なイオンインプラントおよびモニター装置です。汎用性が高く、高スループット生産、中量デバイス、極めて厳しい仕様と歩留まり要件を備えた低用量デバイスなど、さまざまなアプリケーションに簡単に適応できます。このシステムは、最大2000マイクロアンプのビーム電流とエネルギー範囲の12-300keVを備えた、同時に埋め込みと監視を可能にするように設計されています。高電圧ジェネレータとインプラントアンプを採用し、300kHzという驚異的なスキャン速度を実現し、高速かつ高精度のイオンを供給することができます。よく設計されたビームシャッターは、迅速な起動とシャットダウンサイクルを可能にし、調整と操作に必要な時間を短縮します。VIISion 80は、25段階の仮想マスフィルターを備えており、正確なエネルギー選択と、充電補償されたインプラントおよびガス注入用のさまざまなプロファイルを提供します。ターゲット精度のために、マシンは、場所、形状、電圧、時間変化などのいくつかのパラメータで設計されています。半導体カメラと組み合わせることで、高精度なビームイメージングを実現します。また、シングルコラムイメージングオプティクスにより、ビームパスを簡単に調整して最適なフォーカスを実現し、さまざまなウエハサイズと表面に対応できます。VARIAN VIISion 80は、高度な資産監視と診断も提供しています。ビーム電圧、電流、温度を測定することにより、モデルはインプラントのプロファイルに関する詳細なフィードバックを提供し、必要に応じて調整を行うことができます。自動化された制御装置により、システムのリモート制御が可能になり、プロセスの拡張性と柔軟性が向上します。最後に、機械は人員および装置を保護するためのさまざまな安全特徴を含んでいます。全体として、VIISion 80は高度で効率的なイオンインプランターとモニターユニットです。ハイスループット生産から極めてタイトな仕様の低用量デバイスまで、幅広い用途において高性能・高精度が不可欠です。さらに、高度なモニタリングマシンと安全機能により、人員と機器を保護するのに理想的な選択肢です。