中古 VARIAN VIISion 80 #9039557 を販売中

VARIAN VIISion 80は、半導体およびマイクロエレクトロニクス製造に使用するための高エネルギー、高スループットイオンインプラントです。これは、イオンのインプラント線量、エネルギー、流動性を厳密かつ正確に制御する必要があるアプリケーション用に設計されています。VIISion 80は、優れた均一性と再現性を備えた、さまざまなビーム構成を備えた多種多様な材料のイオン注入を可能にします。VARIAN VIISion 80は、テトロード、並列電子銃、分割ビーム陰極配置を利用して、最大80kWのイオン注入エネルギーを供給します。この銃は5〜200 kVの中立エネルギーで動作し、最大15mAビーム電流を提供します。この銃は、エネルギー範囲が100keVから最大80kVまで、2〜254amuのイオンを供給することができます。イオンビームのスポットサイズは0。3-1。0mmの間で構成することができます。この装置は高容量のパワーモジュールを備えており、信頼性、再現性、高精度のインプラント機能を提供します。また、ユーザーがカスタマイズ可能なインプラント・プロファイルを提供し、最適化されたイオン・インプラント操作を可能にします。このシステムにはスキャンビーム電流制御が含まれており、反復可能で均一なインプラント結果を得ることができます。VIISion 80はまた、背景電流、チャンバ性能、ビーム電流、およびインプラントの均一性の測定と制御を可能にするユニークな監視ユニットを備えています。このモニタリングマシンは、高精度で反復可能なインプラント操作を保証するために重要です。モニターツールは、オペレータに異常やエラーを警告する多数の自己診断を提供します。最後に、VARIAN VIISion 80は安全性を念頭に置いて設計されており、高電圧部品へのアクセスをブロックする安全インターロックアセットと適切な電気安全のためのグランド接続を備えています。このモデルには、信頼性の高い動作を保証し、怪我のリスクを低減するように設計されたいくつかのハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントも含まれています。結論として、VIISion 80は高精度イオン注入器であり、イオンを広範囲のエネルギーにわたって供給し、独自の監視装置を使用して反復可能で均一なインプラント操作を保証することができます。このシステムは、操作が簡単で信頼性が高く安全であるように設計されています。最先端の電源を備えたVARIAN VIISion 80は、半導体およびマイクロエレクトロニクスの生産に最適です。