中古 VARIAN VIISion 200 #9107069 を販売中

VARIAN VIISion 200は、さまざまな半導体製造プロセスで使用するために設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。最大2つの異なるイオンを埋め込み、監視することができ、半導体ウェーハのドーピングプロセスを正確に制御することができます。VIISion 200は、製造目的に合わせて精度と信頼性を提供するためにカスタマイズされたさまざまな機能を提供します。この装置は、リニアエンコーダとステッピングモータを含むさまざまな精密スキャンメカニズムを利用して、着床領域で非常に細かい分解能を提供します。これにより、VARIAN VIISion 200は正確なサイズのインプラントを確実に作成できます。さらに、このシステムは、移植されるイオンの投与量を正確に調整できるデュアルインターフェースインプラントも備えています。VIISion 200のモニターは、二重チャネル検出ユニットを使用して、後方散乱電子と二次電子の両方を追跡し、着床プロセスの有効性を詳細に分析します。このマシンには、追加の制御と精度のためのビーム強度モニタも含まれています。VARIAN VIISion 200は、パルス速度を向上させるための高電流インプラント源も備えています。VIISion 200は、操作が簡単な直感的なコントロールパネルを備えており、ユーザーとプロセスの両方を保護するための多数の安全機能を備えています。これらの機能には、セキュアドアセンサーと冗長フェイルセーフツールが含まれます。追加の利便性のために、VARIAN VIISion 200は、埋め込み中に消費されるガスの量を減らすために、オプションの窒素源で利用できます。さらに、VARIAN MyBioMソフトウェアが利用可能であり、注入プロセスの精度と信頼性がさらに向上します。全体として、VIISion 200は、半導体製造を容易かつ効率的にするように設計された高度で信頼性が高く、正確なイオンインプラントおよびモニターです。さまざまなハイエンド機能を備えたVARIAN VIISion 200は、インプラントおよびモニタリングプロセスを最適に制御します。