中古 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON 350D #293652051 を販売中
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VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON 350Dは、半導体を精密に埋め込むために設計されたイオンインプラントとモニターです。これは、単一および複数のイオンインプラント段階の両方が可能であり、あらゆる製造プロセスにとって強力な選択肢となります。インプランターには、水平ウェハハンドリングシステム、スキャン角度の堅牢な両面精密制御、ウェハ温度制御、および調整可能な高電圧パラメータが装備されています。また、TEL 350Dには、線量制御と均一性を実現する高性能デジタルイオンビームアナライザを搭載しています。VARIAN 350Dには様々な調整可能なパラメータがあり、正イオンと負イオンの両方を埋め込むことができます。また、異なる材料タイプと同位体の同時操作を可能にするために、合計10チャンネルを装備しています。この両面制御は、スキャン角度の精度を高めるために独自のC字型ビームコリメータを使用しており、調整可能な電圧と電流パラメータにより、移植線量の均一性が向上しています。TOKYO ELECTRON 350Dは、直径2〜4mmの短い埋め込みが可能で、その汎用性により、リン、ヒ素、ホウ素、インジウム、ガリウムなど様々な材料の埋め込みに適しています。350Dのウェハハンドリングシステムは、自動集中、アライメント、スキャン機能により、最高レベルの品質管理を保証します。さらに、ウェーハの温度制御により、塗布プロセス全体で均一な表面と安定性が向上します。デジタルイオンビームアナライザは、線量制御と均一性とリアルタイムフィードバックを提供し、精度を向上させます。最後に、VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON 350Dには、業界をリードする360°ビームカバレッジ監視システムが搭載されています。この前例のないレベルの制御により、TEL 350D半導体の精密埋め込みのための強力な選択肢となります。
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