中古 VARIAN Solion+ #9130269 を販売中

VARIAN Solion+は、イオンビームインプラントの精密制御用に設計された最先端のイオン注入および監視装置です。ウェーハハンドラ、インプランター、モニター、ビーム操作システム、RF-DCハイブリッドセパレータ、ターゲット/電子銃で構成されています。ウェーハハンドラには、複数のウェーハを平面内および平面外に移動するためのモーター式メカニズムが含まれています。インプランターには、高強度のマルチモードイオン源、洗練されたフォーカシングユニット、さまざまなイオン種のインプラント用の幅広いアクセサリ部品が含まれています。モニターには、リアルタイムの視覚フィードバックと制御を備えた高度なビームプロファイル監視マシンが含まれています。ビーム操作ツールには、位置およびエネルギースキャンのための強力な制御アセットと、インプラント条件を正確に制御するための幅広いビーム操作コンポーネントが含まれています。RF-DCハイブリッドセパレータは、優れた分解能を目指して設計されており、さまざまな電圧とセパレータ電圧を備えた、正と負の両方のイオン注入に使用できます。ターゲット/電子ガンモデルは、望ましいイオンインプラントのプロファイルを最適に分析することができます。Solion+は高度な制御と柔軟性を備えているため、ユーザーはそれぞれのアプリケーションに対してイオンインプラント条件をカスタマイズできます。電圧、電流、ビームエネルギー、ビームスポットサイズ、ビームレット強度、ビームレット位置などのパラメータを調整して、インプラントのプロファイルを微調整できます。また、過電圧保護やバックアップ電源などの安全機能も内蔵しており、安全な動作を確保しています。結論として、VARIAN Solion+は、正確なインプラント調整のための優れた制御と柔軟性を提供する強力なイオンインプラントおよびモニタリングシステムです。洗練されたビーム操作ユニット、RF-DCハイブリッドセパレータ、ターゲット/電子銃を備えたSolion+は、あらゆるアプリケーションのインプラント条件をカスタマイズするための幅広いオプションを提供します。