中古 VARIAN SD-700 #9294166 を販売中

VARIAN SD-700は、半導体の研究と生産のために設計されたイオンインプラントとモニターです。VARIANの既存のSD-600シリーズシステムの柔軟性の高いプラットフォームに基づいていますが、研究および生産イオン注入には幅広い新しいアプローチが組み込まれています。SD-700は新たに開発したイオンデフレクター技術を採用しており、その結果、様々な種類のビーム制御と均一な着床を一気に実現することで、生産歩留まりと研究精度の両立を実現しています。この装置はまた、サイクルタイムとコスト全体を削減するための多くの機能強化を備えています。すべてのVARIANシステムと同様に、VARIAN SD-700は環境に目を向けて設計されています。騒音レベルと排出量を最小限に抑えた環境にやさしい装置です。SD-700は高度なビームスキャンと分析機能を備えており、システムはイオン線量を正確に監視および制御することができます。これにより、ユニットを使用して製造されたデバイスが高品質であることが保証されます。デバイスの均一性をさらに向上させ、処理時間を短縮するために、このマシンは特許取得済みのDynamX™技術を特長とし、イオンインプラントのパラメータに影響を与えることなくビーム条件を瞬時に調整できます。このツールはモジュラーセットアップを備えているため、浅い、深い、超浅い、超深い作業などのアプリケーションに非常に適応可能です。さらに、VARIAN SD-700には、自動ビームシャッター、ロボットウェハハンドリング、高解像度スキャン制御が搭載されており、精度を最大化しています。インベデッドフラックスの比類のない柔軟性と制御のために、アセットには高速ガスフィルターモデルが含まれています。要するに、SD-700は半導体産業の研究と生産の両方を可能にする高度なイオン注入器と監視装置です。そのモダンなプラットフォーム、簡単なユーザーインターフェイス、柔軟なデザインは、最高品質のインプラントを確保するためにさまざまなオプションを提供します。