中古 VARIAN HC Disk for VIISion #9220932 を販売中

VARIAN HC Disk for VIISionは、プロセス制御の精度とスループットを向上させるために設計されたイオンインプラントおよびモニタです。HCディスクは、高電流および超高電流インプラント、インライン蒸着システム、および蒸着装置などのVIISionスイートのツールと互換性のあるウェハハンドリングシステムです。これは、すべてのインプラントおよびポストインプラントのパラメータをオンサイトでカスタマイズするための堅牢で使いやすいインターフェースを提供します。HCディスクを使用することで、プロセスエンジニアはより高い精度でインプラント条件とパラメータを制御できるため、インプラント工程の歩留まりと品質が向上します。オープンアーキテクチャにより、ユーザーはHCディスクを任意のハードウェアおよびソフトウェアと統合することができ、既存のシステムや機器との理想的な互換性を提供します。そのシンプルなデザインは、簡単に交換可能な部品を可能にする2ピースリングに基づいています。HCディスクは、イオンビーム配信とウェーハプレゼンテーションを1つのユニットに統合します。動的スキャン、固定スキャン、3軸チルトなど、幅広いモーションコントロール技術を備えています。動的スキャンではビームのエンドポイント、線量、方向を制御でき、固定スキャンではインプラントのパラメータを迅速かつ正確に制御できます。3軸チルトは、ウェーハの平坦性とアライメントの優れた制御を提供します。また、HCディスクは特許取得済みのプッシュ接続を備えており、インプラント可能なディスクを迅速かつ簡単に取り付けることができます。HCディスクは、さまざまなインプラントパラメータとウエハサイズを簡単に処理できるように設計されています。また、結晶やフィルムなどのさまざまなインプラント源にも対応できます。HCディスクはクリーンルームと互換性があり、インプラントのプロセスパラメータを明確かつ正確に視覚化します。HCディスクは、3Dビジュアライゼーションソフトウェア、シミュレーション用オフラインソフトウェア、およびさまざまなシステムレベルの監視ツールを含む、一連の高度なツールによってサポートされています。統合されたサポートシステムにより、ユーザーはインプラントのプロセスを監視および管理し、重要なパラメータを調整することができます。インテグレーションソフトウェアはリモートコントロールもサポートしており、あらゆる場所からインプラント全体にリモートアクセスできます。HC Disk for VIISionは、プロセス制御を最大化し、ダウンタイムを削減するように設計された、強力で柔軟なイオンインプラントおよびモニターです。操作の容易さ、堅牢なオープンアーキテクチャ、幅広いオートメーション機能により、あらゆるインプラント工程に最適です。