中古 VARIAN / GENUS G1510 #9011839 を販売中

VARIAN/GENUS G1510はイオン注入のための画期的な機能を提供するイオン注入器およびモニターです。イオン注入プロセスの製造および監視に使用されるハイエンドデバイスです。GENUS G1510は、精度と再現性を維持しながら、イオン注入スループットを向上させるように設計されています。精度と再現性に優れた高精度のビーム電流制御装置を提供します。このデバイスには、移植プロセスを最適化するための高度なビーム診断システムも含まれています。VARIAN G 1510は、低汚染で高スループットに設計されています。これは、低、中、高電流を生成するための3つのビームライン構成を提供しています。これにより、異なるアプリケーションのための非常に特定のビームを実装することができます。このデバイスは、プログラム可能なプロセス制御を提供するGENUS自動制御および監視ユニットと統合されています。このマシンには、ビーム最適化のためのツールエネルギー管理パッケージが含まれています。この資産はまた、エッチングプロセスを包括的に理解するための強力なデータ取得および分析モデルを提供します。VARIAN/GENUS G 1510は、2つの統合ビームライン管理システムを備えています。最初の装置はビーム方向とエネルギーを指示し監視し、2番目は移植された種の加速と充電を管理します。これにより、高精度の埋め込みと監視が可能になります。このデバイスは、高度なチャンバー設計が含まれており、極端な条件で動作するように設計されています。高温ステンレス製のチャンバーは、埋め込みプロセスが安全かつ正確に行われることを保証します。G 1510は包括的なインプラント・スイートも提供している。このスイートには、移植プロセスの自動制御、監視、分析を可能にするソフトウェアおよびハードウェアパッケージが含まれています。ソフトウェアには、簡単な操作のためのグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれており、プロセスが仕様外であるときに自動的に警告する特別な機能が含まれています。全体的に、GENUS G 1510は、高信頼性で効率的なイオンインプラントおよびモニターで、精度と再現性を実現しています。高度な設計機能と自動化された制御および監視機能により、高いスループットと正確なインプラントに最適です。