中古 VARIAN / GENUS G1510 / G1520 #9209306 を販売中

GENUS G1510およびG1520は、半導体製造用に設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。これらは、幅広いイオン注入プロセスにおいて優れた性能と信頼性を提供します。このG1510は130 keVのデュアルイオンソースインプランターであり、高いスループットと再現可能なドーピングレートを実現するように設計されています。オイルフリーのセラミックライニング真空チャンバーを備え、イオン汚染制御用の高真空を提供します。2つのイオン源、広いビームと焦点を当てたビームは、均一なエネルギー分布を提供し、より速いサイクル時間とより良いドーパント制御を可能にします。このG1520は、ハイエンド半導体アプリケーションのニーズに対応するように設計された3ソースの120 keVイオン注入器およびモニタです。その高分解能光電源は、最大3つの異なるドーパントを選択的に埋め込む柔軟性を提供します。これにより、インプラント用量とエネルギーの最適化が可能になります。さらに、G1520はインプラントのパラメータの広い範囲にわたって優れた安定性と精度を提供し、重要なドーパント用途に最適なソリューションです。G1510とG1520の両方には、ユーザーがコンピュータ上のインプラント・パラメータを管理および記録できるオプションのコンピューター監視システムがあります。このシステムは、セキュアなネットワークを介したインプラント・プロセスのリモート制御と監視にも対応しています。優れたイオン注入機能を提供することに加えて、G1510とG1520の両方で、カスタムインプラント窓、デュアルエネルギーインプラント、可変時間インプラント、デルタ線量測定など、さまざまなプロセスオプションを提供します。これにより、ユーザーは特定のアプリケーションのニーズに合わせてインプラント処理を調整することができます。G1510とG1520はまた、市場で最も包括的な安全パッケージの1つを提供しています。両マシンには、安全カバーを開けたときにシステムを無効にする安全インターロックスイッチが装備されており、安全規格EN 291、 EN292、 EN 60204に準拠しています。全体として、VARIAN G1510およびG1520は、幅広い半導体製造アプリケーションに優れた性能と信頼性を提供する高度なイオンインプラントおよびモニタです。