中古 VARIAN / GENUS 1520 #293642980 を販売中
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VARIAN/GENUS 1520イオンインプラントとモニターは、イオンを半導体材料に埋め込むための高度なシステムです。イオン伝達を正確に制御することができ、異なるインプラントエネルギー、種、ロットサイズ、線量率を使用することができます。GENUS 1520にはフルオートメーションオプションもあり、オペレータの関与を最小限に抑えて複数のインプラントを実行できます。このシステムは、非常に正確な線量制御を提供し、非常に再現性の高いインプラント用量を可能にします。これにより、ユーザーは一貫した結果を得ることができ、シリコン基板に対する高価な粒子損傷のリスクを低減できます。VARIAN 1520には最新の監視およびプロセスソフトウェアが搭載されており、高度なイオン注入のための包括的なツールとなっています。1520は、RFベースの高出力、GENUS RexoliteとSHIタリウムターゲットの高電圧能力を利用しています。これにより、熱損傷を最小限に抑えた高電流配送と高基板ドーピングレートを実現します。イオン源アセンブリは、ターゲットにイオンを供給し、抽出電極、ソース、スキャンコイルのペアで構成されています。スキャンコイルはインプラントのプロファイリングに使用され、高度にローカライズされたインプラントのプロファイルを達成するために最適化することができます。VARIAN/GENUS 1520には、質量分析、電荷除去、複数種インプラントなど、さまざまなイオン選択（分離）オプションもあります。質量分析オプションを使用すると、特定のイオン種を選択することができますが、電荷除去オプションを使用して、汚染による基質ドーピングを減らすことができます。複数種のインプラントを選択することで、2種以上のインプラントにおいて精度と再現性を向上させることができます。GENUS 1520は、複雑で高品質のマイクロエレクトロニクスデバイスを作成するための強力なシステムです。オートメーションとインプラント制御機能の範囲で、それは品質のウェーハの生産のための貴重なツールです。基板の損傷を最小限に抑え、反復性の高いインプラントの製造を検討しているユーザーに最適です。
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