中古 VARIAN / GENUS 1510 / 1520 #9228263 を販売中

GENUS 1510および1520は、イオンを基板に埋め込み監視するために使用される装置です。半導体およびナノテクノロジーをベースとした製造プロセスで使用するために設計されています。1510は、基板に正確に埋め込まれたイオンの集束ビームを提供し、1520は、最高レベルの再現性と精度を確保するために、埋め込まれたビームのパラメータを測定するために使用されるイオンサイフォン型モニターです。VARIAN 1510は、基板内の2つの陽極のそれぞれを独立して制御するデュアルカソード技術と、表面上のイオンの均一な分布を備えています。これにより、プロセス全体を通して均一で一貫した着床が保証されます。その主な機能には、ビーム精度を向上させる自動整列ビーム整列システム、異なる基板の調整可能なインプラントエネルギー、より高速な基板処理のための調整されたプロセス時間などがあります。一方、1520イオンモニターは、高感度で信頼性の高いイオンゲートを備えており、移植ビームのイオン電流とイオンフラックス速度を正確に測定できます。これは、プロセスの精度を確保するのに役立ち、高品質の半導体デバイスを実現するために不可欠です。1520は、インプラントの全体的な正負のフラックス、ピークからピークまでの厚さ、およびイオン品質を測定するためにも使用できます。結論として、VARIAN/GENUS 1510および1520は、半導体およびナノテクノロジー産業におけるイオン注入およびプロセス監視に不可欠なツールです。精密で正確かつ再現性のある操作により、高品質のデバイスを最小限の労力で製造することができます。これらの理由から、それらはあらゆるプロセスエンジニアのツールキットの重要な部分です。