中古 VARIAN EHP-500 #9315482 を販売中

VARIAN EHP-500 Ion Implanter and Monitorは、幅広い機能を備えた高性能イオンインプランターおよびモニターです。低サイクルと高デューティサイクルの両方で高精度のインプラントと精密プロセス制御を提供するように設計されています。VARIAN EHP500は、スタンドアロンインプランターまたはプロセス制御ユニットとして構成することができ、最大のパフォーマンスと柔軟性を実現します。EHP 500は、高解像度のデジタルイオンエネルギー分光計やデジタル質量分光計など、多くの先進技術を活用して、移植されたイオン種や用量を迅速かつ正確に測定しています。このシステムはまた、ユーザーが最適な均一性と精度のために注入プロセスを迅速かつ効率的に最適化することを可能にする高精度の粒子マッチエンジンを備えています。EHP-500はまた、高度なイオン光学機能と広いダイナミックレンジ（WDR）制御を備えており、均一性と精度のための可変ビームスキャンの埋め込みを可能にします。VARIAN EHP 500は、高度な自動化機能を多数採用しており、注入とプロセス制御の両方に高精度を提供します。このシステムは、プログラム可能な高低電圧ジェネレータと高速オートステップモジュールを使用して可変レート注入を行います。高出力でコンパクトなイオン源により、位置精度に優れた高レートで低エネルギーイオンを埋め込むことができます。EHP500はまた、ウェーハの精密注入後の洗浄を提供しています。VARIAN EHP-500システムはまた、プロセスとそのパラメータをリモートで監視する機能や、着床プロセスに関するリアルタイムのフィードバックを提供する機能など、さまざまな監視機能を提供します。このモニタリング機能は、高度な統合データロガーによってさらに強化され、着床プロセスに関連するすべてのプロセスパラメータと結果を記録します。このデータには、イーサネットインターフェイスを介してリモートでアクセスおよび分析するか、オプションのユーザーインターフェイスを使用してリモートで監視することができます。全体として、VARIAN EHP500 Ion ImplanterおよびMonitorは、ユーザーの最大のプロセス制御、精度、柔軟性を提供する高性能イオンインプランターおよびモニターです。高度なイオン光学機能、広いダイナミックレンジ制御、高度な統合データロガーを統合して、最適なパフォーマンスと最適な埋め込み結果を実現します。